[实用新型]单轴浮动线性平台

权利要求书

1.一种单轴浮动线性平台，所述平台包括基座(1)，基座(1)上固定有驱动装置和可在所述基座(1)上滑动的工作台(3)；其特征在于：所述驱动装置包括定子基座(21)，定子基座(21)两端固定有阻尼装置(22)和柔性装置(24)，所述阻尼装置(22)和柔性装置(24)之间可滑动地固定有驱动电机(23)；所述驱动电机(23)的动子(231)与工作台(3)通过连接臂(4)连接；所述工作台(3)上固定有记录所述工作台(3)位移的位置反馈装置(31)。

2.如权利要求1所述的单轴浮动线性平台，其特征在于：所述定子基座(21)的两端固定有端盖(25)，所述端盖(25)之间固定有滑动导轨(26)，所述驱动电机(23)可沿所述滑动导轨(26)滑动；所述端盖(25)的内侧中部固定有所述阻尼装置(22)，该阻尼装置(22)的两侧分别固定有所述柔性装置(24)。

3.如权利要求1所述的单轴浮动线性平台，其特征在于：所述柔性装置(24)为弹簧或橡胶。

4.如权利要求1所述的单轴浮动线性平台，其特征在于：所述阻尼装置(22)为阻尼器或缓冲器。

5.如权利要求4所述的单轴浮动线性平台，其特征在于：所述阻尼装置(22)为液压阻尼器。

6.如权利要求1所述的单轴浮动线性平台，其特征在于：所述位置反馈装置(31)为光栅尺。

7.如权利要求1所述的单轴浮动线性平台，其特征在于：所述驱动电机为线性电机。

8.如权利要求7所述的单轴浮动线性平台，其特征在于：所述线性电机为音圈电机。

9.如权利要求1-8任一所述的单轴浮动线性平台，其特征在于：所述工作台(3)通过交叉导轨(32)可滑动地固定于工作台基座(33)上，所述工作台基座(33)固定于所述基座(1)上。