[实用新型]一种靶材断电控制装置有效
| 申请号： | 201120529033.7 | 申请日： | 2011-12-16 |
| 公开（公告）号： | CN202421783U | 公开（公告）日： | 2012-09-05 |
| 发明（设计）人： | 张建 | 申请（专利权）人： | 佛山市中南罗森玻璃有限公司 |
| 主分类号： | G05B19/04 | 分类号： | G05B19/04;H02H5/00 |
| 代理公司： | 深圳市君胜知识产权代理事务所 44268 | 代理人： | 刘文求;杨宏 |
| 地址： | 521837 广东省佛*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 断电 控制 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种靶材断电控制装置，其特征在于，包括靶材溅射室、靶材、冷却水进水管、冷却水出水管、用于检测冷却水进水管是否故障的检测装置、用于控制靶材是否断电的控制装置和冷却水供给装置；冷却水进水管和冷却水出水管分别与靶材溅射室连接，所述检测装置设置在冷却水进水管上，所述检测装置还与控制装置连接，所述控制装置与靶材连接。
2.根据权利要求1所述的靶材断电控制装置，其特征在于，所述靶材溅射室下方还设置有一用于运输玻璃的传动带。
3.根据权利要求1所述的靶材断电控制装置，其特征在于，所述检测装置和所述控制装置分别设置多个。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于佛山市中南罗森玻璃有限公司，未经佛山市中南罗森玻璃有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201120529033.7/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种饮水机滤芯筒体旋熔机
- 下一篇：染整设备用气缸
