[实用新型]制备高纯四氟化碳的装置

说明书

技术领域

本实用新型属于化工领域，涉及一种制备高纯四氟化碳的装置，特别是利用共沸精馏或萃取精馏来高效分离四氟化碳/三氟化氮混合物制备高纯四氟化碳的装置，尤其适用于生产高纯四氟化碳。

背景技术

四氟化碳是不燃烧的无色、无味的高压液化气体。四氟化碳是目前微电子工业中用量最大的等离子蚀刻气体，在电子器件表面清洗，太阳能电池的生产，激光技术、气相绝缘、低温制冷、泄漏检验剂、控制宇宙火箭姿态，印刷电路生产中的去污剂等方面也大量使用。由于它的化学稳定性，四氟化碳可用于金属冶炼，例如：铜、不锈钢，碳钢、铝、蒙乃尔等；还可用于塑料行业；如：合成橡胶、氯丁橡胶、还可广泛应用于硅、二氧化硅、氮化硅，磷硅玻璃及钨等薄膜材料的蚀刻，在电子器件表面清洗。现有技术是氟氯甲烷与氟化氢（HF）进行气相反应来制备四氟甲烷，由于氟氯甲烷的氟化较相应的甲烷困难，得到四氟甲烷非常困难，制备成本也非常高。

发明内容

本实用新型所要解决的问题在于，克服现有技术的不足，提供一种制备高纯四氟化碳的装置，利用共沸精馏或萃取精馏来高效分离四氟化碳/三氟化氮混合物制备高纯四氟化碳，大大降低了成本，工艺连续进行，适合于工业化推广。

本实用新型解决其技术问题是采取以下技术方案实现的：

依据本实用新型提供的一种制备高纯四氟化碳的装置，包括精馏塔一、精馏塔二、精馏塔三、冷凝器一、冷凝器二、冷凝器三和分离器，精馏塔一设有精馏塔一的原料入口、精馏塔一的HCI入口、精馏塔一NF3出口，精馏塔一的出口通过管路连接冷凝器一的入口，冷凝器一的出口一通过管路连接精馏塔一的入口一，冷凝器一的出口二通过管路连接冷凝器二的入口，冷凝器二的出口通过管路连接分离器的入口，分离器的出口一通过管路连接精馏塔二的入口一, 精馏塔二的出口一通过管路连接冷凝器三的入口，冷凝器三的出口通过管路分别连接冷凝器二的入口和精馏塔二的入口二，精馏塔二还设有精馏塔二的出口二，分离器的出口二通过管路分别连接精馏塔一的入口二和精馏塔三的入口一，精馏塔三的出口一通过管路连接冷凝器四的入口，冷凝器四的出口通过管路分别连接冷凝器二的入口和精馏塔三的的入口二，精馏塔三设有精馏塔三的出口二。

本实用新型与现有技术相比具有显著的优点和有益效果：

由于本实用新型采用共沸精馏或萃取精馏来高效分离四氟化碳/三氟化氮混合物制备高纯四氟化碳，大大降低了成本，工艺连续进行，适合于工业化推广。

本实用新型的具体实施方式由以下实施例及其附图详细给出。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图。

其中：1、精馏塔一101、精馏塔一的原料入口102、精馏塔一的HCI入口103、精馏塔一的NF3出口104、精馏塔一的出口105、精馏塔一的入口一106、精馏塔一的入口二2、冷凝器一201、冷凝器一的入口202、冷凝器一的出口一203、冷凝器一的出口二3、冷凝器二301、冷凝器二的入口302、冷凝器二的出口4、分离器401、分离器的入口402、分离器的出口一403、分离器的出口二5、精馏塔二501、精馏塔二的入口一502、精馏塔二的入口二503、精馏塔二的出口一504、精馏塔二的出口二6、冷凝器三601、冷凝器三的入口602、冷凝器三的出口7、精馏塔三701、精馏塔三的入口一702、精馏塔三的的入口二703、精馏塔三的出口一704、精馏塔三的出口二8、冷凝器四801、冷凝器四的入口802、冷凝器四的出口。

具体实施方式

以下结合附图及较佳实施例，对依据本实用新型提供的具体实施方式、结构、特征及其功效，详细说明如后。