[实用新型]一种微机械加速度传感器有效
| 申请号： | 201120533803.5 | 申请日： | 2011-12-15 |
| 公开（公告）号： | CN202421210U | 公开（公告）日： | 2012-09-05 |
| 发明（设计）人： | 徐明龙;刘江辽 | 申请（专利权）人： | 西安威正电子科技有限公司 |
| 主分类号： | G01P15/12 | 分类号： | G01P15/12 |
| 代理公司： | 西安智大知识产权代理事务所 61215 | 代理人： | 贺建斌 |
| 地址： | 710077 陕西省西安市*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 微机 加速度 传感器 | ||
【说明书】：
技术领域
本实用新型属于微电子机械系统领域，具体涉及一种微机械加速度传感器。
背景技术
硅微机械压阻式加速度传感器的加速度大到一定程度后梁上的应力可能使梁断裂，应根据硅的断裂强度来碗定传感器的测量量程。
实用新型内容
为了克服上述现有技术的缺点，本实用新型的目的在于提供一种微机械加速度传感器，具有高固有频率。
为了达到上述目的，本实用新型采取的技术方案为：
一种微机械加速度传感器，包括敏感梁2，敏感梁2位于主梁4正上方，主梁4通过过渡区6与敏感梁2实现连接，敏感梁2对称配置在质量块5的两端，敏感电阻1安置在敏感梁2与锚区3的相接处，下盖板7与质量块5连接。
本实用新型具有高固有频率。
附图说明
附图为本实用新型的结构示意图。
具体实施方式
下面结合附图对本实用新型作详细描述。
一种微机械加速度传感器，包括敏感梁2，敏感梁2位于主梁4正上方，主梁4通过过渡区6与敏感梁2实现连接，敏感梁2对称配置在质量块5的两端，敏感电阻1安置在敏感梁2与锚区3的相接处，下盖板7与质量块5连接。
本实用新型具有高固有频率。
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