[实用新型]生长金刚石膜的耐高温金属丝装置

说明书

【技术领域】

本实用新型属于金刚石材料制备技术领域，涉及化学气相沉积法生产多晶金刚石膜的装置，特别是一种配置耐高温金属丝的装置。

【背景技术】

采用化学气相沉积法在异质基底上生长出多晶金刚石薄膜，不但成本低，而且可沉积面积大，因此采用化学气相沉积法生产多晶金刚石膜得到迅速发展。采用化学气相沉积法在高温环境内制备多晶金刚石膜，需在真空环境内的电极上装配数根耐高温金属丝，耐高温金属丝在电流作用下产生热能，但是耐高温金属丝在高温环境下工作易产生形变，使工作参数不稳定，断电时耐高温金属丝断裂，重新工作时需更换耐高温金属丝，导致高温金属丝的重复利用率低，并且装配费时，工作效率低，不能满足大批量生产的要求。

【实用新型内容】

为解决上述问题，本实用新型提供一种装配简单、重复利用率高的生长金刚石膜的耐高温金属丝装置。

本实用新型采用的技术方案如下：

一种生长金刚石膜的耐高温金属丝装置，主要由支架、第一电极、第二电极、耐高温金属丝组成，其特征在于：在第一电极、第二电极上设置有第一滑块、第二滑块，耐高温金属丝的两端分别通过第一定位板、第二定位板固定在第一滑块、第二滑块上，调整第一牵引杆和第二牵引杆，使耐高温金属丝处于直线状态。

前述第一滑块放置在第一电极上，并通过第一拉紧杆将第一滑块、第一电极与支架连接，第一拉紧杆下端伸出支架的部分有第一拉紧弹簧；第一滑块左侧有第一牵引板，第一牵引板下端通过第一螺栓与第一电极固定在一起，第一牵引板上端通过第一牵引杆与第一滑块连接，第一牵引杆伸出第一牵引板的部分有第一牵引弹簧；第一滑块右侧上端有凹槽，凹槽内有第一定位板，耐高温金属丝的一端放置在第一定位板与凹槽之间的缝隙内通过第二螺栓压紧第一定位板从而固定耐高温金属丝。

前述第二滑块放置在第二电极上，并通过第二拉紧杆将第二滑块、第二电极与支架连接，第二拉紧杆下端伸出支架的部分有第二拉紧弹簧；第二滑块右侧有第二牵引板，第二牵引板下端通过第三螺栓与第二电极固定在一起，第二牵引板上端通过第二牵引杆与第二滑块连接，第二牵引杆伸出第二牵引板的部分有第二牵引弹簧；第二滑块左侧上端有凹槽，凹槽内有第二定位板，耐高温金属丝的一端放置在第二定位板与凹槽之间的缝隙内通过第四螺栓压紧第二定位板从而固定耐高温金属丝。

采用上述技术方案，当耐高温金属丝受热膨胀时，第一滑块、第二滑块分别向两端外延轻微移动，从而使耐高温金属丝处于直线状态，保证工作参数稳定；当断电后耐高温金属丝收缩时，第一滑块、第二滑块分别向回轻微移动，仍然使耐高温金属丝处于直线状态，且不易断裂，保证能够再次通电后工作，能够实现耐高温金属丝的重复利用率高，重新工作时不需重新装配耐高温金属丝，显著提高工作效率。

【附图说明】

图1所示的是本实用新型的结构示意图。

【具体实施方式】

下面结合附图及实施例对本实用新型作进一步说明。

如图1所示，一种生长金刚石膜的耐高温金属丝装置，主要由支架(12)、第一电极(5)、第二电极(18)、耐高温金属丝(11)组成，在第一电极(5)、第二电极(18)上设置有第一滑块(6)、第二滑块(17)，耐高温金属丝(11)的两端分别通过第一定位板(9)、第二定位板(14)固定在第一滑块(6)、第二滑块(17)上。

第一滑块(6)放置在第一电极(5)上，并通过第一拉紧杆(7)将第一滑块(6)、第一电极(5)与支架(12)连接，第一拉紧杆(7)下端伸出支架(12)的部分有第一拉紧弹簧(10)；第一滑块(6)左侧有第一牵引板(2)，第一牵引板(2)下端通过第一螺栓(3)与第一电极(5)固定在一起，第一牵引板(2)上端通过第一牵引杆(4)与第一滑块(6)连接，第一牵引杆(4)伸出第一牵引板(2)的部分有第一牵引弹簧(1)；第一滑块(6)右侧上端有凹槽，凹槽内有第一定位板(9)，耐高温金属丝(11)的一端放置在第一定位板(9)与凹槽之间的缝隙内通过第二螺栓(8)压紧第一定位板(9)从而固定耐高温金属丝(11)。