[实用新型]一种长单晶硅棒的取出装置有效
申请号: | 201120534432.2 | 申请日: | 2011-12-20 |
公开(公告)号: | CN202369680U | 公开(公告)日: | 2012-08-08 |
发明(设计)人: | 冯冬芳;李进 | 申请(专利权)人: | 北京京仪世纪电子股份有限公司 |
主分类号: | C30B15/30 | 分类号: | C30B15/30 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 100079 北*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 单晶硅 取出 装置 | ||
1.一种长单晶硅棒的取出装置,用于硅单晶炉,包括由下至上依次设置的电动推杆、电动推杆连接块、顶升轴、炉盖提升轴、炉盖提升连接件、副室提升轴和副室提升连接件,所述顶升轴贯穿所述炉盖提升轴且所述顶升轴的两端分别延伸出所述炉盖提升轴的端部,所述顶升轴能在所述炉盖提升轴内上下移动,所述顶升轴的上端与所述副室提升轴的下端相连接,所述顶升轴的下端与所述电动推杆连接块相连接,其特征在于,在所述炉盖提升轴底端与所述电动推杆连接块之间的所述顶升轴上设有可拆装的止挡部件。
2.如权利要求1所述的长单晶硅棒的取出装置,其特征在于,所述止挡部件包括:定位套,套装在所述电动推杆连接块和所述顶升轴下部;
螺套,套装在所述定位套的上部,所述螺套的内壁与所述定位套的外壁螺纹连接;
隔套,可拆装的滑动套设于所述顶升轴上,且位于所述螺套上方,所述隔套能顶抵于所述炉盖提升轴的底端。
3.如权利要求2所述的长单晶硅棒的取出装置,其特征在于,在所述顶升轴上提运动之前,所述隔套的上端面与所述炉盖提升轴的底端面之间具有预定的间隙。
4.如权利要求2所述的长单晶硅棒的取出装置,其特征在于,该预定的间隙为5mm~10mm。
5.如权利要求2或3或4所述的长单晶硅棒的取出装置,其特征在于,所述隔套由两半隔套对接而成,在所述两半隔套的对应面上分别沿轴线开设有与所述顶升轴相配合的半圆槽,所述两半隔套通过螺栓相连接。
6.如权利要求2或3或4所述的长单晶硅棒的取出装置,其特征在于,所述隔套由两半隔套对接而成,在所述两半隔套的对应面上分别沿轴线开设有与所述顶升轴相配合的半圆槽,所述两半隔套的一侧通过活页连接,另一侧通过螺栓相连接。
7.如权利要求1所述的长单晶硅棒的取出装置,其特征在于,所述止挡部件为卡箍,所述卡箍卡紧于所述炉盖提升轴底端与所述电动推杆连接块之间的所述顶升轴上,所述卡箍与所述炉盖提升轴的底端面相配合顶抵。
8.如权利要求7所述的长单晶硅棒的取出装置,其特征在于,在所述顶升轴上提运动之前,所述卡箍的上端面与所述炉盖提升轴的底端面之间具有预定的间隙。
9.如权利要求8所述的长单晶硅棒的取出装置,其特征在于,所述预定的间隙为5mm~10mm。
10.如权利要求1所述的长单晶硅棒的取出装置,其特征在于,所述取出装置还包括第一护板和第二护板,所述第一护板和所述第二护板分别设于所述硅单晶炉的翻板阀的上端两侧,所述第一护板的高度小于所述第二护板的高度,在所述第二护板的朝向所述第一护板的侧面上开设有锥面,所述锥面与所述硅单晶炉的副室的下端部相配合。
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