[实用新型]一种蓝宝石衬底抛光装置

权利要求书

1.一种蓝宝石衬底抛光装置，其特征是：在机架（113）上转动安装有转轴（114），在转轴（114）的顶端部固定有抛光台（101），在抛光台（101）的上表面固定有水晶抛光垫（102），在水晶抛光垫（102）上方设有磨料供给机构；在机械臂（107）上通过胶轮（108）安装有固定环（106），在固定环（106）内设有衬底固定盘（104），在衬底固定盘（104）上方设有将衬底固定盘（104）固定的蓝宝石衬底压向水晶抛光垫（102）的加压机构（105）；所述水晶抛光垫（102）由多个厚度相同的水晶片（112）用紫外胶粘附在抛光台（101）的上表面上，相邻两片水晶片（112）之间的间隙为0.5~2mm。

2.如权利要求1所述的蓝宝石衬底抛光装置，其特征是：所述水晶片（112）的形状为长方形或者正多边形。

3.如权利要求1或2所述的蓝宝石衬底抛光装置，其特征是：所述水晶片（112）的厚度为0.5~1mm，水晶片（112）的平面度为1～3μm。

4.如权利要求1所述的蓝宝石衬底抛光装置，其特征是：所述加压机构（105）为块铁或者砝码。

5.如权利要求1所述的蓝宝石衬底抛光装置，其特征是：所述磨料供给机构包括在机架（113）上安装的固定支架（111），在固定支架（111）上安装有漏斗固定升降横臂（109），在漏斗固定升降横臂（109）上固定有磨料供给漏斗（110）。