[实用新型]一种检测腐蚀性气体的石英传感器有效
| 申请号： | 201120536475.4 | 申请日： | 2011-12-20 |
| 公开（公告）号： | CN202548080U | 公开（公告）日： | 2012-11-21 |
| 发明（设计）人： | 张积武 | 申请（专利权）人： | 郑州原创电子科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N27/00 | 分类号： | G01N27/00 |
| 代理公司： | 郑州红元帅专利代理事务所(普通合伙) 41117 | 代理人： | 王瑞丽 |
| 地址： | 450016 河南省郑州市经济*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 检测 腐蚀性 气体 石英 传感器 | ||
【权利要求书】：
1.一种检测腐蚀性气体的石英传感器，其特征在于：包括石英晶片、Ti膜层和Cu膜层，所述Ti膜层蒸镀到石英晶片上，Cu膜层蒸镀到Ti膜层上。
2.根据权利要求1所述的一种检测腐蚀性气体的石英传感器，其特征在于：所述石英晶片的晶片θ切角为35°12′30″±30″。
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