[实用新型]石英坩埚洁净间传递窗结构

说明书

【技术领域】

本实用新型涉及一种洁净间传递窗，尤其是涉及一种石英坩埚洁净间传递窗结构。

【背景技术】

公知的，石英坩埚作为拉制大直径单晶硅是一种必不可少的设备之一，目前的石英坩埚在1450度以下使用，大致分为透明和不透明两种。用电弧法制的半透明石英坩埚是拉制大直径单晶硅，发展大规模集成电路必不可少的基础材料。当今，世界半导体工业发达国家已用此坩埚取代了小的透明石英坩埚。他具有高纯度、耐温性强、尺寸大精度高、保温性好、节约能源、质量稳定等优点。

在加工石英坩埚时，由于石英坩埚具有怕污染的特殊性，需要在千级真空状态下包装，生产石英坩埚时需要把石英坩埚通过传递窗口送到洁净间；现有的方式是要送石英坩埚进入洁净间时，先通知洁净间工作人员关闭内窗口，由送料人打开外窗口送至拟隔离位置后紧闭外窗口，相互配合不好容易对石英坩埚造成污染，需要对石英坩埚进行二次清洗，增加生产成本。

【发明内容】

为了克服背景技术中的不足，本实用新型公开了一种石英坩埚洁净间传递窗结构，通过将内侧窗、外侧窗的自动回弹和磁铁门吸与磁铁的吸附功能，实现了内侧窗、外侧窗的随时关闭；本实用新型有效地克服了现有技术的缺陷。

实现本实用新型的技术方案如下：

一种石英坩埚洁净间传递窗结构，包括框架、自动回弹合页、内侧窗、外侧窗、磁铁门吸和磁铁，所述框架为方筒形结构，在框架的外口一侧边上通过自动回弹合页与外侧窗的一侧铰接，框架的外口另一侧边上设有对应外侧窗另一侧磁铁的磁铁门吸；在框架的内口一侧边上通过自动回弹合页与内侧窗的一侧铰接，框架的内口另一侧边上设有对应内侧窗另一侧磁铁的磁铁门吸；在外侧窗和内侧窗的中部分别设有玻璃。

所述的石英坩埚洁净间传递窗结构，外侧窗和内侧窗的面上玻璃一侧分别设有把手。

通过上述公开内容，本实用新型的有益效果是：

本实用新型所述的石英坩埚洁净间传递窗结构，通过将内侧窗、外侧窗的自动回弹和磁铁门吸与磁铁的吸附功能，实现了内侧窗、外侧窗的随时关闭；本实用新型有效地减少了由于人为失误对石英坩埚造成的污染。

【附图说明】

图1是本实用新型的立体结构示意图；

图中：1、通过口；2、自动回弹合页；3、内侧窗；4、把手；5、磁铁门吸；6、框架；7、外侧窗；8、玻璃；9、磁铁。

【具体实施方式】

结合实施例对本实用新型进行进一步的说明；下面的实施例并不是对于本实用新型的限定，而是仅作为支持实现本实用新型的方式，在本实用新型所公开的技术框架内的任意等同结构替换，均为本实用新型的保护范围；

结合附图1所述的石英坩埚洁净间传递窗结构，包括框架6、自动回弹合页2、内侧窗3、外侧窗7、磁铁门吸5和磁铁9，所述框架6为方筒形结构，在框架6的外口一侧边上通过自动回弹合页2与外侧窗7的一侧铰接，框架6的外口另一侧边上设有对应外侧窗7另一侧磁铁9的磁铁门吸5；在框架6的内口一侧边上通过自动回弹合页2与内侧窗3的一侧铰接，框架6的内口另一侧边上设有对应内侧窗3另一侧磁铁9的磁铁门吸5；在外侧窗7和内侧窗3的中部分别设有玻璃8；外侧窗7和内侧窗3的面上玻璃8一侧分别设有把手4。

实施本实用新型所述的石英坩埚洁净间传递窗结构，本实用新型所述的石英坩埚洁净间传递窗结构，通过将内侧窗3、外侧窗7的合页改为弹簧式自动回弹合页2，并借助磁铁门吸5与磁铁9的吸附功能，实现了内侧窗3、外侧窗7的随时关闭，由内侧窗3、外侧窗7上分别设置的玻璃8进行提醒，当框架6中部通过口1中有了石英坩埚时，工作人员便可及时发现；本实用新型有效地减少了或杜绝了由于人为失误对石英坩埚造成的污染，既确保产品安全性，又提高了产品加工率，间接为公司降低生产成本，增加企业效益。

本实用新型未详述部分为现有技术。