[实用新型]用于真空仓室的信号探测装置

说明书

技术领域

本实用新型提供一种用于真空仓室的信号探测装置。 

背景技术

目前，用于真空仓室的信号探测装置已在真空镀膜生产线中广泛使用，以检测工件架在真空仓室中的具体位置。 

现有的信号固定方式都是直接固定在仓体上的，并且是固定在仓室的两侧，当在真空仓室过程中使用时，出现漏气等现象、需要维修时，在仓室的两边进行维修是很困难的事情。另外，当工件架上的工件落下，正好挡在仓室两侧之间的路线上时，会导致检测的情况发生错误，影响工作。 

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是提供一种使用稳定可靠、维修方便的用于真空仓室的信号探测装置。 

为解决上述技术问题，本实用新型提供的用于真空仓室的信号探测装置，它包括仓室、信号发生组件、信号接收组件，其特征在于： 

信号发生组件、信号接收组件穿过仓室的顶板后密封地设置在顶板上，且信号发生组件、信号接收组件分别处于仓室宽度方向中心线的两侧；

倒置的U形架设置在仓室内，U形架的第一支腿、第二支腿分别处于仓室宽度方向中心线的两侧，

第一支腿、信号发生组件在位置上相对应，第二支腿、信号接收组件在位置上相对应；

第一支腿内设有一个L形第一光通道，第一光通道的上开口位于第一支腿的上端面上，第一光通道的下开口位于第一支腿的下端侧面上且指向第二支腿，第一支腿的下端装有与其成锐角且与第一光通道的折弯部位相通的倾斜第一反射片，第一反射片的反射面朝向第二支腿；

第二支腿内设有一个L形第二光通道，第二光通道的上开口位于第二支腿的上端面上，第二光通道的下开口位于第二支腿的下端侧面上且指向第一支腿，第二支腿的下端装有与其成锐角且与第二光通道的折弯部位相通的倾斜第二反射片，第二反射片的反射面朝向第一支腿；

使用时，信号发生组件发出的光按以下线路依次传递：第一光通道的竖直腔、第一反射片、第一光通道的水平腔、第二光通道的水平腔、第二反射片、第二光通道的竖直腔、信号接收组件。

作为本实用新型的优化，所述第一反射片与第一支腿之间的夹角为45°角，第二反射片与第二支腿之间的夹角为45°角。 

作为本实用新型的进一步优化，所述信号发生组件由第一固定总成、信号发生体组成； 

第一固定总成包括空心的第一信号座、非透光水平第一垫圈、水平第一钢化玻璃板、第一密封圈、空心的第一信号管柱、第二密封圈、第一紧固螺母；

第一信号管柱的上端有一外伸的第一安装台，第一信号管柱的中部制有外螺纹，第一安装台的上侧有第一凹坑，第一密封圈、第一钢化玻璃板、非透光水平第一垫圈自下而上依次层叠地安置于第一凹坑内，第二密封圈设置在第一安装台的下侧，第一信号管柱竖直穿过仓室的顶板，第一信号管柱通过旋装在其上且与仓室顶板内侧面紧密接触的第一紧固螺母得以定位，使得第一安装台与仓室顶板之间密封配合；

第一信号座放置在第一安装台上且两者通过紧固件相接，第一信号座与非透光水平第一垫圈紧密接触，使得第一钢化玻璃板与第一凹坑底面之间密封配合；

信号发生体依次穿过第一信号座、非透光水平第一垫圈置于第一钢化玻璃板上，使其安装在第一固定总成内。

所述信号接收组件由第二固定总成、信号接收体组成； 

第二固定总成包括空心的第二信号座、非透光水平第二垫圈、水平第二钢化玻璃板、第三密封圈、空心的第二信号管柱、第四密封圈、第二紧固螺母；

第二信号管柱的上端有一外伸的第二安装台，第二信号管柱的中部制有外螺纹，第二安装台的上侧有第二凹坑，第三密封圈、第二钢化玻璃板、非透光水平第二垫圈自下而上依次层叠地安置于第二凹坑内，第四密封圈设置在第二安装台的下侧，第二信号管柱竖直穿过仓室的顶板，第二信号管柱通过旋装在其上且与仓室顶板内侧面紧密接触的第二紧固螺母得以定位，使得第二安装台与仓室顶板之间密封配合；

第二信号座放置在第二安装台上且两者通过紧固件相接，第二信号座与非透光水平第二垫圈紧密接触，使得第二钢化玻璃板与第二凹坑底面之间密封配合；

信号发生体依次穿过第二信号座、非透光水平第二垫圈置于第二钢化玻璃板上，使其安装在第二固定总成内。

为能简洁说明问题起见，以下对本实用新型所述用于真空仓室的信号探测装置均简称为本装置。