[实用新型]多晶硅还原炉尾气节能系统有效
申请号: | 201120547615.8 | 申请日: | 2011-12-24 |
公开(公告)号: | CN202400853U | 公开(公告)日: | 2012-08-29 |
发明(设计)人: | 孙惺惺;赵建;刘慧颖;李子林;臧国强 | 申请(专利权)人: | 江苏双良锅炉有限公司 |
主分类号: | C01B33/035 | 分类号: | C01B33/035 |
代理公司: | 江阴市同盛专利事务所 32210 | 代理人: | 唐纫兰 |
地址: | 214444 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 多晶 还原 尾气 节能 系统 | ||
1.一种多晶硅还原炉尾气节能系统,其特征在于:所述系统包括还原炉(1)、加热器(2)、汽化器(3)、混合器(4)、气气换热器(5)和冷却器(6),所述还原炉(1)的尾气出口与冷却器(6)的尾气进口连接,冷却器(6)的尾气出口与气气换热器(5)的尾气进口连接,气气换热器(5)的尾气出口与汽化器(3)的尾气进口连接,汽化器(3)的尾气出口与加热器(2)的尾气进口连接,加热器(2)的尾气出口接入尾气回收工序;出加热器(2)的H2和出汽化器(3)的TCS接入混合器(4),出混合器(4)的TCS和H2混合气体接入气气换热器(5),出气气换热器(5)的TCS和H2混合气体接入还原炉(1)。
2.根据权利要求1所述的一种多晶硅还原炉尾气节能系统,其特征在于:所述气气换热器(5)为U型管换热器。
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