[实用新型]精密工作台

权利要求书

1.精密工作台，包括至少一层的台架，每层台架均包括与对应定导轨导向配合的气浮平台，其特征在于：所述气浮平台为以下结构中的一种：第一种，所述气浮平台由一个气浮块构成，该气浮块与所述定导轨导向配合的各个面上均设有正对定导轨对应配合面的出气孔，各出气孔在气浮块内部相互连通；第二种，所述气浮平台由两个气浮块背靠背固连构成，两所述气浮块与定导轨导向配合的各个面上均设有正对定导轨配合面的出气孔，两所述气浮块的各出气孔在各自气浮块内部相互连通；第三种，所述气浮平台由三个气浮块叠加固连构成，各气浮块与定导轨导向配合的各个面上均设有正对定导轨配合面的出气孔，组成该气浮平台的所述气浮块的各出气孔在各自气浮块内部相互连通。

2.根据权利要求1所述的精密工作台，其特征是：所述三种结构中组成所述气浮平台的各气浮块的出气孔的外端口上均设有喷嘴。

3.根据权利要求1或2所述的精密工作台，其特征是：所述各层台架均包括底板，所述定导轨固设在相应的底板上。

4.根据权利要求3所述的精密工作台，其特征是：该精密工作台包括两层所述台架，上层所述台架的所述定导轨与下层所述台架的所述定导轨互相垂直。

5.根据权利要求4所述的精密工作台，其特征是：上层所述台架的底板即为下层所述台架的气浮平台。

6.根据权利要求1或2或4或5所述的精密工作台，其特征是：所述两台架上的气浮平台结构均为所述的第一种结构。