[实用新型]金属电沉积装置有效
| 申请号： | 201120549823.1 | 申请日： | 2011-12-24 |
| 公开（公告）号： | CN202415726U | 公开（公告）日： | 2012-09-05 |
| 发明（设计）人： | 薛玉君;李伦;司东宏;库祥臣;贾现召;李济顺;马伟 | 申请（专利权）人： | 河南科技大学 |
| 主分类号： | C25D21/12 | 分类号： | C25D21/12;C25D21/10;C25D21/00;C25D5/20 |
| 代理公司： | 郑州睿信知识产权代理有限公司 41119 | 代理人： | 胡伟华 |
| 地址： | 471003 河*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 金属 沉积 装置 | ||
1.金属电沉积装置，包括用于容纳电解液的电沉积槽和用于在电沉积过程中与电解液中的阳极及阴极对应电连接的电源，其特征在于：所述的电沉积槽外侧设有在电沉积过程中向电解液施加平行或垂直于电场方向的超声波的电声换能器系统，该电声换能器系统电连接有超声波发生器，电声换能器系统施加在电解液上的超声波频率为45kHz，超声波功率为120～300W；在电沉积槽外侧还设置有用于在电沉积过程中向电解液施加平行或垂直于电解液中电场的磁场N极磁极和S极磁极，所述N极磁极和S极磁极相对应的分布在电沉积槽的两侧，由N极磁极和S极磁极施加在电解液中的磁场强度B为0.5～1.0T；在电沉积槽中还设有在电沉积过程中用于搅拌电解液的搅拌器和用于使电沉积槽中的电解液温度保持稳定的加热系统。
2.根据权利要求1所述的金属电沉积装置，其特征在于：所述的N极磁极和S极磁极绕电沉积槽中心轴线可转动的转配在电沉积槽外侧。
3.根据权利要求2所述的金属电沉积装置，其特征在于：所述的电沉积槽周向外侧通过推力轴承支撑有绕电沉积槽中心轴线转动的装配工作台，所述的N极磁极和S极磁极分别对应放置回转装配工作台上位于电沉积槽周向外侧的两承接部位置处，两承接部相对于电沉积中心轴线对称布置。
4.根据权利要求1或2或3所述的金属电沉积装置，其特征在于：所述的电声换能器系统包括设置在电沉积槽底部的槽底电声换能器和位于电沉积槽周向一侧的槽侧电声换能器，所述槽侧电声换能器安装方向使用时与电沉积槽中的电场方向同向，槽底电声换能器和槽侧电声换能器连接有用于控制两者工作状态以得到在电沉积过程中向电解液施加垂直或平行于电解液中电场的超声波的超声波控制器。
5.根据权利要求4所述的金属电沉积装置，其特征在于：所述的电沉积槽中的加热系统包括加热器、检测电解液温度的热电偶和用于根据热电偶所检测到的温度控制加热器工作时间的温控装置。
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