[实用新型]带有压力测量装置的等离子刻蚀机夹具

说明书

技术领域

本实用新型涉及晶体硅太阳能电池生产领域，具体来说涉及一种等离子刻蚀技术中的带有压力测量装置的等离子刻蚀机夹具。

背景技术

等离子刻蚀是现代晶体硅太阳能电池生产不可缺少的部分。现有的等离子刻蚀机的夹具并没有压力测量装置，由于硅片的薄厚不是固定的，所以在等离子刻蚀夹硅片的过程中操作人员不知道硅片受到夹具压力的大小，如果夹的过松，硅片之间有间隙，这样会导致刻蚀的深度变深会影响电池片的效率；如果夹的过紧就会出现硅片损坏，这样将会增大碎片率，减少利润。

因此，特别需要一种带有压力测量装置的等离子刻蚀机夹具，这样就能解决夹片过程中出现上述问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种带有压力测量装置的等离子刻蚀机夹具，以解决现有技术中不方便控制夹具力度的问题。

为了实现上述目的，本实用新型的技术方案如下：

带有压力测量装置的等离子刻蚀机夹具，包括夹具本体，所述夹具本体包括上夹具和下夹具，其特征在于，在所述上夹具的夹持面上设置有若干压力传感器，所述压力传感器与压力显示设备连接。

在本实用新型的一个优选实施例中，所述压力传感器的下端设置有一隔板。

本实用新型能够实现现有设备不具备的压力测量功能，通过压力测量，操作人员进行等离子刻蚀机夹具夹硅片的过程中，对于夹具给硅片的压力大小有一个合理的数值，这样不会发生夹的过松，硅片之间有间隙；或者夹的过紧，使硅片碎裂的情况。减少生产碎片率，同时提高晶体太阳能电池片的效率，提高效益，减少了资源浪费，实现了本设计的目的。

本实用新型的特点可参阅本案图式及以下较好实施方式的详细说明而获得清楚地了解。

附图说明

图1为本实用新型的上夹具夹持面的示意图。

图2为本实用新型的使用状态示意图。

具体实施方式

为了使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施例进一步阐述本实用新型。

如图1和2所示，带有压力测量装置的等离子刻蚀机夹具，包括夹具本体，夹具本体包括上夹具100和下夹具200，在上夹具的夹持面上设置有若干压力传感器110，压力传感器110均布在上夹具的夹持面上。压力传感器110与压力显示设备300连接。

压力传感器的下端设置有一隔板400。使硅片500和压力传感器110均匀受力。

当夹具中放有硅片500，把上夹具盖好，开始旋转螺母压缩硅片500，压力显示设备300就会显示一个数值，当压力达到合理大小时，停止旋转螺母，完成压缩硅片。

本实用新型能够实现现有设备不具备的压力测量功能，通过压力测量，操作人员进行等离子刻蚀机夹具夹硅片的过程中，对于夹具给硅片的压力大小有一个合理的数值，这样不会发生夹的过松，硅片之间有间隙；或者夹的过紧，使硅片碎裂的情况。减少生产碎片率，同时提高晶体太阳能电池片的效率，提高效益，减少了资源浪费，实现了本设计的目的。

以上显示和描述了本实用新型的基本原理、主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型的范围内。本实用新型要求的保护范围由所附的权利要求书及其等同物界定。