[实用新型]甩干机上吹扫气体加热器控制温度的装置有效
申请号: | 201120552558.2 | 申请日: | 2011-12-26 |
公开(公告)号: | CN202395015U | 公开(公告)日: | 2012-08-22 |
发明(设计)人: | 刘重阳 | 申请(专利权)人: | 上海莹利光电科技有限公司 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18;F26B21/10 |
代理公司: | 上海精晟知识产权代理有限公司 31253 | 代理人: | 马家骏 |
地址: | 201502 上*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 甩干机上吹扫 气体 加热器 控制 温度 装置 | ||
技术领域
本实用型涉及甩干机吹扫气体加热器装置,特别涉及一种用于晶体硅太阳能电池生产的甩干机上的吹扫气体加热器装置。
背景技术
甩干机是晶体硅太阳能电池生产线上不可缺少的环节,在清洗完硅片后都要用甩干机把硅片甩干。现有的甩干机只能把吹扫气体加热,但不能控制吹扫气体的温度,由于甩干机的工艺不同或者吹扫气体气压发生改变时,吹扫气体流过加热器的流量可能不是固定不变的。这样会出现甩干过程中吹扫气体温度受热不均匀,导致甩干不完全,甚至硅片会有水滴出现,不仅会影响下面生产的工艺,影响天阳能电池片的效率,还会大大降低生产效率。
因此,特别需要一种可控制吹扫气体加热器温度的装置,解决上述存在的问题。
实用新型内容
本实用设计的目的在于提供一种甩干机上吹扫气体加热器控制温度的装置,以解决技术中不能控制吹扫气体的温度的问题。
本实用设计所解决的技术问题可以采用以下几个技术方案来实现:
一种用于甩干机上吹扫气体加热器控制温度的装置,它包括甩干机上的吹扫气体加热器,其特征在于,还包括与该吹扫气体加热器连接的并用 以调节其功率的调节功率装置、以及设置在吹扫气体加热器的出气管上的温度传感器,所述温度传感器与调节功率装置电连接。
本实用新型的甩干机上吹扫气体加热器控制温度的装置,可以有效的控制吹扫气体加热器的温度,保证了测量精度,结构简单,十分实用,实现本实用新型的目的。
附图说明
图1为本实用新型的甩干机上吹扫气体加热器控制温度的装置的结构示意图。
具体实施方式
为了使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解,下面结合具体实施例进一步阐述本实用新型。
如图1所示,本实用新型提供了一种用于甩干机上吹扫气体加热器控制温度的装置,它包括甩干机上的吹扫气体加热器200,其特征在于,还包括与该吹扫气体加热器连接的并用以调节其功率的调节功率装置300、以及设置在吹扫气体加热器200的出气管500上的温度传感器100,所述温度传感器100与调节功率装置300电连接,所述吹扫气体加热器200连接有进气管400。
在本实用新型中,所述当修改工艺或调节气流量的时候,就可以通过调节功率装置300来调节吹扫气体加热器的加热功率,可以根据温度传感器上的温度来调节加热功率来改变吹扫气体的温度,达到了本设计的目的。
以上显示和描述了本实用新型的基本原理、主要特征和本实用新型的 优点。本行业的技术人员应该了解,本实用新型不受上述实施例的限制,上述实施例和说明书中描述的只是本实用新型的原理,在不脱离本实用新型精神和范围的前提下本实用新型还会有各种变化和改进,这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型的范围内。本实用新型要求的保护范围由所附的权利要求书及其等同物界定。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的