[实用新型]真空镀膜机内充氧量自动控制装置有效
| 申请号： | 201120552928.2 | 申请日： | 2011-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN202482428U | 公开（公告）日： | 2012-10-10 |
| 发明（设计）人： | 朱文斌 | 申请（专利权）人： | 苏州灵菱照明镀膜科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/54 | 分类号： | C23C14/54 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215101 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 真空镀膜 机内充氧量 自动控制 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种真空镀膜机内充氧量自动控制装置，其特征在于：包括气控阀、压强单元(7)及电离单元(8)；其中气控阀包括阀体(13)、活动阀芯(10)；阀体(13)的一端上设有输气管道(18)，输气管道(18)由进气端(14)和出气端(15)组成；所述阀体(13)的另一端上设有阀腔(17)；所述进气端(14)和出气端(15)分别设有与阀腔(17)连通的气控口；
所述活动阀芯(10)设置在阀体(13)内的阀腔(17)中，活动阀芯(10)的头部对应所述气控口设有密封垫(11)，其尾部上套设有电磁线圈(12)，活动阀芯(10)与电磁线圈(12)之间设有弹簧(9)；
所述压强单元(7)及电离单元(8)与电磁线圈(12)电连接。
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