[实用新型]光纤法布里-珀罗压力传感器

权利要求书

1.一种光纤法布里-珀罗压力传感器，其特征在于，包括：压力采集腔、缓冲部件、光学谐振腔、光纤连接器；所述压力采集腔为上端、下端具有开口的腔体，上接外部储液容器，下端通过缓冲部件连接所述光学谐振腔；所述光学谐振腔为一非本征型法布里-珀罗光学干涉腔，其为上端面开口、下端面封闭的腔体；连接有光纤的所述光纤连接器从所述光学谐振腔的下端面穿入所述光学谐振腔内。

2.根据权利要求1所述的光纤法布里-珀罗压力传感器，其特征在于，所述缓冲部件包括缓冲弹性体、光学弹性体、外壳，所述缓冲弹性体、光学弹性体、外壳形成缓冲腔，所述缓冲腔内设有缓冲液；所述缓冲弹性体、光学弹性体均为圆盘形状。

3.根据权利要求1所述的光纤法布里-珀罗压力传感器，其特征在于，所述缓冲部件包括缓冲弹性体、光学弹性体、外壳，所述缓冲弹性体、光学弹性体、外壳形成缓冲腔；所述光学弹性体为圆盘形状；所述缓冲弹性体为圆心凸起呈弧形的圆盘形状，且所述缓冲弹性体上具有贯穿本体的孔。

4.根据权利要求2或3所述的光纤法布里-珀罗压力传感器，其特征在于，压力采集腔、光学谐振腔及外壳具有筒状内腔；所述缓冲弹性体、光学弹性体的形状与所述压力采集腔、光学谐振腔及外壳相适配以封闭所述压力采集腔及光学谐振腔之间的空隙。

5.根据权利要求4所述的光纤法布里-珀罗压力传感器，其特征在于，所述光纤连接器由保护盖、光学谐振腔下端穿入，并与所述光学谐振腔底端面及光学弹性体垂直；所述光纤连接器中轴线与所述保护盖、光学谐振腔、光学弹性体中轴线重合或偏离中轴线不超过8μm。

6.根据权利要求5所述的光纤法布里-珀罗压力传感器，其特征在于，所述缓冲液为低膨胀系数的苯甲基硅油。

7.根据权利要求6所述的光纤法布里-珀罗压力传感器，其特征在于，所述压力采集腔、缓冲弹性体、光学谐振腔、外壳、保护盖采用因瓦合金制造，所述光学谐振腔进行发黑处理。

8.根据权利要求7所述的光纤法布里-珀罗压力传感器，其特征在于，所述光学弹性体采用与因瓦合金等膨胀系数的微晶玻璃制造，其直径为11～25mm，厚度为850～1500μm，其内侧表面中心半径500μm范围内镀反射膜，反射率调整到50～68％。

9.根据权利要求8所述的光纤法布里-珀罗压力传感器，其特征在于，所述光纤连接器为平面对接型光纤连接器，所述光纤为单模石英光纤。

10.根据权利要求8所述的光纤法布里-珀罗压力传感器，其特征在于，所述光学谐振腔、保护盖开有与外界大气或油罐蒸汽空间相通的导气孔；所述导气孔内设有通气吸油体；所述通气吸油体为活性碳与多孔发泡材料组成的吸附体。