[实用新型]一种用于监测晶体生长的装置有效
| 申请号： | 201120556237.X | 申请日： | 2011-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN202380130U | 公开（公告）日： | 2012-08-15 |
| 发明（设计）人： | 伊戈尔库兹涅佐夫;伊戈尔柯尔克;马克菲列格勒;刘春艳;毕成;胡春霞 | 申请（专利权）人： | 苏州优晶光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/28 | 分类号： | C30B15/28 |
| 代理公司： | 张家港市高松专利事务所(普通合伙) 32209 | 代理人： | 孙高 |
| 地址： | 215600 江苏省苏州市张*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用于 监测 晶体生长 装置 | ||
1.一种用于监测晶体生长的装置，包括支架和设置在支架内的提升轴、支架内顶端设置有称重传感器，其特征在于：所述称重传感器的下端固定设置有基座，基座内转动设置有从动吊装装置，从动吊装装置的上端位于基座内，其下端伸出基座，提升轴的上端设置在从动吊装装置下端内，提升轴上套设有传动套，且传动套的上端位于从动吊装装置下端外侧，且传动套的上端与从动吊装装置的下端之间通过弹性装置固定连接，传动套的下端从支架中穿出并于位于支架外部的驱动传动套转动的驱动装置相连，提升轴位于从动吊装装置内的外表面部位沿提升轴轴向设置有槽，槽内设置有圆球，从动吊装装置内埋设有弹簧，该弹簧将圆球抵在槽内，提升轴的下端也从支架内穿出。
2.根据权利要求1所述的一种用于监测晶体生长的装置，其特征在于：所述弹性装置为环形垫片。
3.根据权利要求2所述的一种用于监测晶体生长的装置，其特征在于：所述环形垫片上沿其圆周方向上开设有若干个大致呈Y形的孔，该孔的三段均呈弧形，且均与环形垫片同心，远离圆心的孔的弧形段的弧度大于靠近圆心的孔的弧形段的弧度且该两弧形段之间半圆形过度。
4.根据权利要求3所述的一种用于监测晶体生长的装置，其特征在于：所述环形垫片上沿其圆周方向上开设有三个大致呈Y形的孔。
5.根据权利要求1所述的一种用于监测晶体生长的装置，其特征在于：所述槽为腰形槽。
6.根据权利要求1或2或3或4或5所述的一种用于监测晶体生长的装置，其特征在于：所述从动吊装装置包括转动设置基座内的短轴和与短轴相连的短套，短套位于基座下侧。
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