[实用新型]一种采用温控方式提高测量精度的微机械加速度计倾角传感器有效
| 申请号： | 201120559562.1 | 申请日： | 2011-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN202393384U | 公开（公告）日： | 2012-08-22 |
| 发明（设计）人： | 迟家升;宋光威 | 申请（专利权）人： | 北京星网宇达科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01C9/00 | 分类号： | G01C9/00 |
| 代理公司： | 北京中海智圣知识产权代理有限公司 11282 | 代理人： | 曾永珠 |
| 地址： | 100097 北京市海淀区蓝靛厂东路2号*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 采用 温控 方式 提高 测量 精度 微机 加速度计 倾角 传感器 | ||
【权利要求书】：
1.一种采用温控方式提高测量精度的微机械加速度计倾角传感器，包括壳体及底盖，其特征在于：还包括安装在壳体及底盖所形成大空腔内的内层壳体，所述内层壳体形成小密闭空腔，所述内层壳体内设置MEMS加速度计，所述内层壳体的外表面设置有薄膜加热器，所述MEMS加速度计外表面设置测温传感器，所述测温传感器与自动控制薄膜加热器电流的解算控制板相偶联。
2.按照权利要求1所述的微机械加速度计倾角传感器，其特征在于，所述内层壳体的其余外表面设置有保温层。
3.按照权利要求1或2所述的微机械加速度计倾角传感器，所述内层壳体的外表面与所述的薄膜加热器之间设置有导热胶层。
4.按照权利要求3所述的微机械加速度计倾角传感器，所述的导热胶层为导热硅胶层。
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