[实用新型]外加电场测试台架及薄膜测试平台有效
| 申请号： | 201120559975.X | 申请日： | 2011-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN202471623U | 公开（公告）日： | 2012-10-03 |
| 发明（设计）人： | 李晓龙;顾月良;何庆;黎忠;周兴泰;徐洪杰 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海应用物理研究所 |
| 主分类号： | G01N23/20 | 分类号： | G01N23/20;G01R31/00 |
| 代理公司： | 上海智信专利代理有限公司 31002 | 代理人： | 朱水平;杨东明 |
| 地址： | 201800 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 外加 电场 测试 台架 薄膜 平台 | ||
1.一种外加电场测试台架，其特征在于：所述台架包括：
一底座，所述底座设置在一旋转轴上方，底座上方中央设置一样品台；
一对“T”形支架，设置在所述底座两端的端面上；
一对能够在多个维度上进行位置调节的探针台，分别设置在所述“T”形支架上；
一对探针夹具，包括探针插口，分别设置在所述探针台上；以及
一对与所述探针夹具绝缘的金属探针，通过所述探针插口固定设置在所述探针夹具上。
2.如权利要求1所述的测试台架，其特征在于：所述底座为长方形，所述样品台为立方体，与底座一体成形。
3.如权利要求1所述的测试台架，其特征在于：所述底座两端设置卡口槽，所述“T”形支架通过所述卡口槽固定在底座上。
4.如权利要求1所述的测试台架，其特征在于：所述探针台包括三个传动丝杠，所述探针台为能够在三个维度调整探针夹具的位置的探针台。
5.如权利要求1至4任一项所述的测试台架，其特征在于：所述探针夹具设置有接入外加电场的接线柱。
6.一种外加电场薄膜测试平台，其特征在于，包括权利要求1至5所述的外加电场测试台架和一摄像头，所述摄像头通过一摄像头支架固定设置在所述样品台上方，所述摄像头支架与电场测试台架的底部转轴相连接。
7.如权利要求6所述的测试平台，其特征在于：所述摄像头支架包括一“U”形转接支架，所述“U”形转接支架上方设置一楔形转接支架，所述摄像头固定在所述楔形转接支架的侧面。
8.如权利要求6或7所述的测试平台，其特征在于：所述摄像头支架与电场测试台架的底部转轴固定连接。
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