[实用新型]一种绝对式光栅尺辊压印模具有效
申请号: | 201120560169.4 | 申请日: | 2011-12-28 |
公开(公告)号: | CN202421720U | 公开(公告)日: | 2012-09-05 |
发明(设计)人: | 刘红忠;于皓瑜;尹磊;史永胜;蒋维涛;丁玉成;卢秉恒 | 申请(专利权)人: | 西安交通大学 |
主分类号: | G03F7/00 | 分类号: | G03F7/00;G01B11/02 |
代理公司: | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人: | 徐文权 |
地址: | 710049 *** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 绝对 光栅尺 压印 模具 | ||
技术领域
本实用新型属于辊压印微纳复制技术领域特别涉及一种制造机床用绝对式长光栅尺的辊压印成型模具。该模具可以连续、高效制造绝对式光栅尺。
背景技术
在以大面积为特征的宏电子系统领域已开始展现了崭新的应用潜力,并为机床测量用光栅微结构的制造提供了一种新的思路。辊压印技术可通过对辊压母光栅模具高精度连续回转运动的精确控制,实现超长、高精度、高线数光栅功能性微结构的制造。
一般说来,光栅尺分为增量式光栅尺和绝对式光栅尺。增量式光栅尺是一种尺面微结构具有周期性的光栅尺。而绝对式光栅尺尺面微结构不具有周期性。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种绝对式光栅尺辊压印模具,该模具可以连续、高效制造绝对式光栅尺。
本实用新型的目的是通过以下技术方案来解决的:
这种绝对式光栅尺辊压印模具,包括圆柱形的辊体,在棍体的外周壁上刻有具有非周期性微结构的螺旋线。
上述非周期性微结构的螺旋线是具有绝对式光栅尺微结构的螺旋线。
本实用新型的绝对式光栅尺辊压印模具将绝对式光栅尺的微结构以螺旋线的形式刻于辊子上。压印时,辊子与尺胚以一定的角度和力相互接触,辊子旋转,尺胚胎以一定角度做进给运动,将微结构复刻于尺胚上。该模具可以连续、高效制造绝对式光栅尺。
附图说明
图1为本实用新型的结构示意图。
具体实施方式
下面结合附图对本实用新型做进一步详细描述:
参见图1,本实用新型的绝对式光栅尺辊压印模具包括圆柱形的辊体1,在棍体1的外周壁上刻有具有非周期性微结构的螺旋线2。这种非周期性微结构的螺旋线2是具有绝对式光栅尺微结构的螺旋线。压印时,辊子与尺胚以一定的角度和力相互接触,辊子旋转,尺胚胎以一定角度做进给运动,将微结构复刻于尺胚上。
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