[实用新型]线锯控制系统和线锯有效
| 申请号： | 201120560605.8 | 申请日： | 2011-12-23 |
| 公开（公告）号： | CN202685120U | 公开（公告）日： | 2013-01-23 |
| 发明（设计）人： | 菲利普·那斯卡;吉恩-马克·罗斯特 | 申请（专利权）人： | 应用材料瑞士股份有限公司 |
| 主分类号： | B28D7/00 | 分类号： | B28D7/00;B28D5/04 |
| 代理公司： | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 11258 | 代理人： | 柳春雷 |
| 地址： | 瑞士*** | 国省代码： | 瑞士;CH |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 控制系统 | ||
1.一种用于操作线锯的线锯控制系统，所述线锯适合于通过以可选择的线速度将线相对于晶片移动而切割所述晶片，所述线锯控制系统的特征在于包括：
a)用于检查所述线的照相机；
b)用于根据线速度来操作所述照相机的照相机控制单元。
2.根据权利要求1或2所述的线锯控制系统，所述照相机控制单元根据检查的结果来改变所述线锯的至少一个操作参数。
3.根据权利要求2所述的线锯控制系统，其中，所述至少一个操作参数是从以下组中的一个或者多个选择：增大所述线速度、降低工作台速度、以及增大向前移动和向后移动之间的比率。
4.根据权利要求1所述的线锯控制系统，其中，检查所述线包括检查以下性能中的一个或者多个：线磨损、线直径、线均一性、所述线的金刚石浓度和所述线的金刚石分布。
5.一种线锯，其特征在于包括：
用于操作线锯的线锯控制系统，所述线锯适合于通过以可选择的线速度将线相对于晶片移动而切割所述晶片，所述线锯控制系统包括：
a)用于检查所述线的照相机；
b)用于根据线速度来操作所述照相机的照相机控制单元。
6.根据权利要求5所述的线锯，还包括收线线轴，其中，所述照相机与所述收线线轴相邻定位。
7.根据权利要求5或6所述的线锯，还包括至少一个驱动器，所述驱动器用于驱动所述线，其中，所述驱动器适合于执行前后移动。
8.根据权利要求5或6所述的线锯，其中，所述线是金刚石线。
9.根据权利要求5或6所述的线锯，所述照相机控制单元根据检查的结果来改变所述线锯的至少一个操作参数。
10.根据权利要求5或6所述的线锯，其中，所述至少一个操作参数是从以下组中的一个或者多个选择：增大所述线速度、降低工作台速度、 以及增大向前移动和向后移动之间的比率。
11.根据权利要求5或6所述的线锯，其中，检查所述线包括检查以下性能中的一个或者多个：线磨损、线直径、线均一性、所述线的金刚石浓度和所述线的金刚石分布。
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