[实用新型]线锯控制系统和线锯有效
| 申请号： | 201120560628.9 | 申请日： | 2011-12-23 |
| 公开（公告）号： | CN202685115U | 公开（公告）日： | 2013-01-23 |
| 发明（设计）人： | 菲利普·那斯卡 | 申请（专利权）人： | 应用材料瑞士股份有限公司 |
| 主分类号： | B28D5/04 | 分类号： | B28D5/04;B28D7/00 |
| 代理公司： | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 11258 | 代理人： | 王安武 |
| 地址： | 瑞士*** | 国省代码： | 瑞士;CH |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 控制系统 | ||
1.一种线锯控制系统，其被配置为控制线锯的线的温度，所述线锯适用于切割晶片，所述线锯控制系统包括：
a)温度传感器，其用于测量所述线的温度；
b)控制器，其用于基于所测量的温度来控制所述线锯的至少一个操作参数。
2.根据权利要求1所述的线锯控制系统，其中所述温度传感器是红外传感器。
3.根据权利要求1或2所述的线锯控制系统，包括多个温度传感器。
4.根据权利要求3所述的线锯控制系统，包括至少五个温度传感器。
5.根据权利要求3所述的线锯控制系统，其中所述多个温度传感器被安装在机架上。
6.根据权利要求5所述的线锯控制系统，其中所述机架被布置为与线方向垂直。
7.根据权利要求1或2所述的线锯控制系统，其中所述至少一个操作参数是从由以下各项构成的组中选取的：线速度、工作台速度、浆料流率、浆料温度、冷却空气流率和冷却空气温度。
8.一种线锯，包括：
a.线，其适用于切割晶片；
b.线锯控制系统，其被配置为控制所述线的温度，所述线锯控制系统包括：
i)温度传感器，其用于测量所述线的温度；以及
ii)控制器，其用于基于所测量的温度来控制所述线锯的至少一个操作参数。
9.根据权利要求8所述的线锯，其中所述至少一个操作参数是从由以下各项构成的组中选取的：线速度、工作台速度、浆料流率、浆料温度、冷却空气流率和冷却空气温度。
10.根据权利要求8或9所述的线锯，其中所述线形成线网，并且所 述线锯控制系统被配置为测量所述线网的温度分布。
11.根据权利要求10所述的线锯，其中所述控制器构造成当在所述温度分布内的温度差超过阈值时修改所述至少一个操作参数。
12.根据权利要求8或9所述的线锯，其中多个温度传感器被安装到机架。
13.根据权利要求12所述的线锯，其中所述机架被布置为与线方向垂直。
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