[实用新型]电子检测仪器的探针固定装置

说明书

技术领域

本实用新型属于测量技术领域，尤其是一种电子检测仪器的探针固定装置。

背景技术

在半导体工艺研究过程中，对各种样品的检测过程中，往往需要固定探针的相对位置进行测量。如使用电子万用表、示波器等电子检测仪器对大样品进行测量时，一般是用双手各执一只探针，估量两探针的距离进行测量，由于在测量过程中手的抖动或估计的偏差，都会影响测量结果的精确度，只能得到较为粗糙的结果。

发明内容

本实用新型的目的在于克服现有技术的不足，提供一种结构简单、设计科学合理、成本较低、制作简单、方便测量的电子检测仪器的探针固定装置。

本实用新型解决其技术问题是通过以下技术方案实现的：

一种电子检测仪器的探针固定装置，包括一圆规，其在圆规的两个支腿的外壁分别固装一探针锁紧环。

而且，所述的探针锁紧环为铜环。

本实用新型的优点和有益效果为：

1、本电子检测仪器的探针固定装置，包括一圆规，其在圆规的两个支腿的外壁分别固装一探针锁紧环，该结构能够使电子检测仪器的两探针分别插入探针锁紧环中，使两个探针之间的距离可调、可固定，降低操作误差，方便实际测量工作，用一只手就能进行较精确的测量。

2、本实用新型结构简单、设计科学合理、成本较低、制作简单、是一种方便测量的电子检测仪器的探针固定装置。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图。

具体实施方式

下面通过具体实施例对本实用新型作进一步详述，以下实施例只是描述性的，不是限定性的，不能以此限定本实用新型的保护范围。

一种电子检测仪器的探针固定装置，包括一圆规1，其在圆规的两个支腿3的外壁分别固装一探针锁紧环4，所述的探针锁紧环为铜环。

本实用新型在使用时，将电子检测仪器的两个探针2分别插入探针锁紧环中，然后用直尺调整两个探针之间的距离至需要的尺寸即可，例如在实际工作中需要测量大块ZnO样品各个部分的表面电阻。其操作方式是：将万用表正负极探针插入圆规的两个探针锁紧环中，用直尺确定两探针的距离是1cm，然后让两探针与被测样品表面接触，读取万用表读数即得到所要的电阻值。并且，用电子万用表两极铜质探针距离1cm测量ZnO表面的电阻，在同一区域反复测量几次取平均值作为该部分的表面电阻值。