[实用新型]电浆源设备的升降式天线调整结构

说明书

技术领域

本实用新型涉及一电浆源设备的升降式天线调整结构，特别是指能够独立调整天线单元的高低以控制电浆源强弱的天线调整结构。

背景技术

按，电浆设备使用于制造加工产业中已有相当时间，业界为了满足使用上的需求，在此专业领域仍是陆续研发出各种类型电浆设备以符合市场上需求，近年电浆设备产品及种类已有日益增加的趋势。

而本实用新型所欲针对者，即是针对电浆设备的天线调整装置结构加以探讨改良；习知电浆设备通常通过真空电浆反应器上设置一介电窗，利用介电窗与电浆设备所设的天线装置感应，使真空室内的真空气体解离产生电浆源；市面上电浆设备结构设计上虽有多种型态，但综观而论，其电浆设备的天线调整装置设计上仍旧存在天线调整控制方便性不佳的问题，以及难以精准调整制备成品表面处理的均匀度，进而影响加工质量、导致成品不良率提高，增加制造成本的问题与缺憾，因此，电浆设备的天线调整装置目前仍有相当大的改良突破空间存在。

发明内容

针对现有技术存在的缺陷和不足，本实用新型的主要目的在于提供一种电浆源设备的升降式天线调整结构；

为达到上述目的，本实用新型采用以下技术方案：

本实用新型解决问题的技术特点，主要系通过一天线调整结构，系设于一既有感应式耦合电浆源设备所设的基座上，该电浆源设备系包括有一介电窗、一射频电源匹配单元以及能够提供气体的一气体输入单元；所述的天线调整结构包括：固定基板，系通过至少两个连接件设置于电浆源设备基座的顶端，且与该基座呈间隔相对的型态；至少两个环圈状天线单元，呈内外间隔配置组设于该电浆源设备的基座，该环圈状天线单元包括至少一天线单体，各独立天线单体均具有缺口部，该缺口部一端系与一电性输入端相连接，又该缺口部另一端系与一接地端相连接；电性连接部，呈间隔分开的型态，该电性连接部底端系组接于天线单体的缺口部二端，又该电性连接部的顶端系组设于固定基板；天线升降调控组件，呈分布状组设于各独立天线单体，且该天线升降调控组件顶端系通过螺合调整构件组设于固定基板的预定位置，又该螺合调整构件系包括至少二螺帽以及螺栓所构成，各独立螺帽系分别组设固定基板的顶、底端；藉此，俾可利用调整该天线升降调控组件的螺栓来控制该环圈状天线单元各天线单体的独立高低升降状态，进而控制制备成品表面加工的电浆源强度；藉此创新独特设计，使本实用新型对照先前技术而言，可达到提升天线调整控制的方便性，且能够精准调整制备成品表面处理均匀度，进而降低成品不良率，节省制造成本的产业实用进步性。

附图说明

图1为本实用新型天线调整结构组设于电浆源设备的立体示意图。

图2为本实用新型天线升降调控组件一端组设于固定基板的局部示意图。

图3为本实用新型天线升降调控组件零组件局部放大示意图。

图4为本实用新型天线调整结构整体构件的立体图。

图5为本实用新型环圈状天线单元调整升降高度的动作示意图。

图6为本实用新型第一连接件组接于电性连接部的状态示意图。

图7为本实用新型环圈状天线单元与天线单体电性链接的电路示意图。

具体实施方式

请参阅图1至4，本实用新型电浆源设备的升降式天线调整结构05设于一既有感应式耦合电浆源设备10所设的基座11上，该电浆源设备10包括有一介电窗12、一射频电源匹配单元13以及够提供气体的一气体输入单元16；所述的天线调整结构05包括：

固定基板20，通过至少两个连接件21设置于电浆源设备10基座11的顶端，且与该基座11呈间隔相对的型态，固定基板20材质以金属、硬质塑料为佳，但不限定于此种型态；

至少两个环圈状天线单元30，呈内外间隔配置组设于电浆源设备10的基座11，环圈状天线单元30包括至少一天线单体31，且其中至少一环圈状天线单元30可由至少两个天线单体31所构成，此如图4、7所示，为本实施例各环圈状天线单元30分别包含有二、三及五组天线单体31的型态，且各独立天线单体31均具有缺口部32(如图4、6所示)，缺口部32一端与一电性输入端33相连接，另一端与一接地端34相连接，其中环圈状天线单元30可为圆形、方形、多边型任其中一种型态；

电性连接部40，呈间隔分开的型态，电性连接部40底端组接于天线单体31的缺口部32二端，电性连接部40的顶端组设于固定基板20。其中电性连接部40内部为中空型态，与天线单体31内部相连通，其中电性连接部40以金属等导电材质为佳；