[实用新型]一种具有检测装置的磁控溅射靶

权利要求书

1.一种具有检测装置的磁控溅射靶，包括靶、靶座、水冷背板以及检测装置，所述靶和水冷背板固定在靶座上，位于真空腔体内，其特征在于所述靶的背面设有安装检测装置的沟槽，检测装置包括表面绝缘导线、继电器和报警灯铃，表面绝缘导线敷设在靶的沟槽内，该导线穿过水冷背板和靶座与继电器连接，且由继电器连接报警灯铃。

2.根据权利要1所述的具有检测装置的磁控溅射靶，其特征在于所述检测装置中与导线连接的继电器和报警灯铃位于真空腔体外。

3.根据权利要1所述的具有检测装置的磁控溅射靶，其特征在于所述靶的沟槽设在靶与水冷背板的贴合处。

4.根据权利要1所述的具有检测装置的磁控溅射靶，其特征在于所述靶的沟槽呈直线、折线或弧线形。

5.根据权利要1所述的具有检测装置的磁控溅射靶，其特征在于敷设在靶的沟槽内的表面绝缘导线，其直径小于0.2mm。

6.根据权利要1所述的具有检测装置的磁控溅射靶，其特征在于敷设在靶的沟槽内的表面绝缘导线与靶材和水冷背板相互绝缘。

7.根据权利要1所述的具有检测装置的磁控溅射靶，其特征在于所述检测装置中的继电器为常开开关，导线导通时，继电器为打开状态。

8.根据权利要1所述的具有检测装置的磁控溅射靶，其特征在于所述靶是一个改型靶材组合件，包括端部和中间多个相互拼接的区域。

9.根据权利要8所述的具有检测装置的磁控溅射靶，其特征在于所述改型靶材组合件的端部靶材和中间直道靶材相互衔接的面为斜面。

10.根据权利要9所述的具有检测装置的磁控溅射靶，其特征在于所述改型靶材组合件的端部靶材厚度大于或等于中间直道区域其靶材厚度。