[实用新型]单晶炉埚升快慢速控制机构

说明书

技术领域

本实用新型涉及单晶炉坩埚升降技术领域，具体涉及一种单晶炉埚升快慢速控制机构。

背景技术

直拉法单晶炉在工作中，坩埚升降运动分为很多个速度等级，可以大致归类为快慢速两种。当前期开炉装料时，坩埚要快速降至最低位；当高温加热熔化硅料时，随着液面的下降，坩埚要不断上升；在拉晶过程中，坩埚要带动熔硅跟随籽晶拉速慢速上升；在晶体生长结束收尾时，坩埚要快速下降，使埚底剩余硅料与固体晶棒脱离。上述众多运动中，前期装料降坩埚至最低埚位时为最高速，坩埚跟随籽晶拉速时为最低速，此两种速度相差大约为1000倍左右，超出伺服电机的调控范围。目前大多数单晶炉埚升机构，普遍采用两个电机来分别控制快慢速运动，通过电磁离合器进行快慢速的切换，此款机构无论从结构、安装固定、还有电器控制都比较复杂，且安装后精度调整不易保证，不仅影响最终埚升速度的精度，还有可能导致电机，或者减速机，或者电磁离合器由于装配精度差而出故障。

发明内容

为了克服上述现有技术存在的缺点，本实用新型的目的在于提供一种单晶炉埚升快慢速控制机构，具有结构简单、易调节、易控制且埚升速度控制的精度高的特点。

为达到上述目的，本实用新型采用以下技术方案：

一种单晶炉埚升快慢速控制机构，包括电机1，电机1通过联轴器3与减速机5连接，电机1与减速机5同轴，减速机5输入端安装有第一带轮4，输出端安装有第二带轮6，第一带轮4通过第一皮带7与第三带轮8连接，第三带轮8安装在双向离合器13左端，双向离合器13右端安装有第四带轮10和第五带轮11，第五带轮11安装在第四带轮10的外面，第二带轮6通过第二皮带9与第四带轮10连接，第五带轮11通过第三皮带12将运动传递给埚升机构。

所述电机1安装在支架2上，支架2、减速机5及双向离合器13均安装在支架14上。

本实用新型和现有技术相比具有如下优点：

1、采用单电机1和双向离合器13结构，通过双向离合器13实现快慢速运动转换，具有结构简单、易调节、易控制且埚升速度控制的精度高的特点。

2、电机1安装在支架2上，支架2、减速机5、双向离合器13安装在支架14上，装配简单，装配中，只需调整支架2，保证电机1与减速机5同轴，降低了双向离合器13与减速机5的安装精度要求，安装精度易于调整保证，由此可降低电机1、减速机2及双向离合器13的故障发生率，最终提高埚升运动精度。

附图说明

附图是本实用新型的结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施方式对本实用新型作更详细说明。

如附图所示，本实用新型一种单晶炉埚升快慢速控制机构，包括电机1，电机1安装在支架2上，电机1通过联轴器3与减速机5连接，电机1与减速机5同轴，减速机5输入端安装有第一带轮4，输出端安装有第二带轮6，第一带轮4通过第一皮带7与第三带轮8连接，第三带轮8安装在双向离合器13左端，双向离合器13右端安装有第四带轮10和第五带轮11，第五带轮11安装在第四带轮10的外面，第二带轮6通过第二皮带9与第四带轮10连接，第五带轮11通过第三皮带12将运动传递给埚升机构。电机1安装在支架2上，支架2、减速机5及双向离合器13均安装在支架14上。

本实用新型的工作原理为：快速升降时，双向离合器13左端安装带轮8的轴与安装第五带轮11的轴连通，电机1通过联轴器3、第一带轮4、第一皮带7、第三带轮8，第五带轮11以及第三皮带12将运动传递给埚升机构；慢速升降时，双向离合器13右端安装的第四带轮10的轴与安装第五带轮11的轴连通，电机1通过联轴器3、减速机5、第二带轮6、第二皮带9、第四带轮10，第五带轮11以及第三皮带12将运动传递给埚升机构。