[实用新型]单晶炉除尘筒中滤芯的清理装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及单晶硅制备技术领域，更具体地说，涉及一种单晶炉除尘筒中滤芯的清理装置。 

背景技术

硅的单晶体，是具有基本完整的点阵结构的晶体，其不同的方向具有不同的性质，是一种良好的半导材料，用于制造半导体器件、太阳能电池等，单晶硅的生产是用高纯度的多晶硅在单晶炉内拉制而成。 

单晶硅在生产制作过程中会掺杂B、P、Ga、As等元素，这些挥发物大多为剧毒物质，多晶硅在拉直成单晶后进行排风时，会附带这些元素的挥发物，为了防止这些挥发物进入真空泵，导致真空泵损坏，需要通过单晶炉内的除尘筒滤除这些生产过程中产生的挥发物。除尘筒为单晶炉辅助设备，包括滤芯等主要部件，由单晶炉中出来的气体通过滤芯时，气体中的杂质会留在滤芯上，滤芯表面为褶皱结构，用于增大过滤面积，从而加强了过滤效果。 

目前，除尘筒滤芯的清理采用的是纯人工方式。每次在单晶炉进行清理时，将滤芯从除尘筒中取出，然后通过吸尘装置来吸收滤芯表面的杂质。吸尘装置上有吸尘管，吸尘管的端口上安装有吸头，吸尘装置通过吸头对滤芯的每个褶皱进行从上到下的清理。然而，滤芯上褶皱较多，且由人工来清理，清理时间长，清理难度较大，同时清理的效果也很难保证，容易出现遗漏的未进行清理的褶皱位置，从而影响了滤芯在使用时的排气效果。同时清理时，由于杂质是粉末状的，容易对操作人员造成危害，同时也在一定程度上影响了周围的环境。 

滤芯由于清理困难，可以将滤芯放置于喷砂机内，用高压空气对滤芯进行吹扫，可以在一定程度上减少人工操作的难度。然而这种方法仍然需要人工进行吹扫操作，清理效果存在很大的不稳定性；同时喷砂机内的空间小， 导致滤芯的移动不便，且喷砂机内无支撑装置，滤芯的移动需要靠操作人员手工实现，容易在滤芯滚动的过程中造成其表面的磨损，影响滤芯的使用质量。 

因此，如何实现方便、有效的对滤芯进行清理，同时保证滤芯清理质量，是目前本领域技术人员亟待解决的问题。 

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型提供了一种单晶炉除尘筒中滤芯的清理装置，以实现方便、有效的对滤芯进行清理，同时保证滤芯清理质量。 

为了达到上述目的，本实用新型提供如下技术方案： 

一种单晶炉除尘筒中滤芯的清理装置，用于实现对除尘筒滤芯的清理工作，包括： 

吹扫筒体； 

滤芯支架，其设置于所述吹扫筒体的内部，所述滤芯支架的支撑端可转动的与所述吹扫筒体的底部相连； 

进气通道，其设置于所述吹扫筒体的侧壁上，且所述进气通道的出气端与所述滤芯支架的滤芯安装端相配合； 

排气通道，其设置于所述吹扫筒体的侧壁上。 

优选地，在上述滤芯的清理装置中，所述吹扫筒体包括筒体和筒盖。 

优选地，在上述滤芯的清理装置中，所述筒盖上设置有防爆阀。 

优选地，在上述滤芯的清理装置中，所述筒体的顶部设置有第一安装耳和第二安装耳，所述筒盖上设置有第一安装柱和第二安装柱，所述第一安装柱和所述第二安装柱分别与所述第一安装耳和所述第二安装耳配合安装。 

优选地，在上述滤芯的清理装置中，所述第二安装耳上设置有安装槽； 

所述筒盖包括密封盖、旋转盖和连接柄， 

所述连接柄与所述旋转盖螺纹连接，且其一端与所述密封盖连接； 

所述第一安装柱和第二安装柱均设置于所述旋转盖上，所述第一安装柱可转动地与所述第一安装耳连接，所述第二安装柱卡设于所述安装槽内。 

优选地，在上述滤芯的清理装置中，所述滤芯支架上设置有滤芯支撑盘，所述滤芯支架的顶端设置有滤芯固定件。 

优选地，在上述滤芯的清理装置中，所述进气通道的出气端沿所述滤芯的高度方向均匀分布有多个分进气通道。 

优选地，在上述滤芯的清理装置中，各个所述分进气通道上均设置有调节阀。 

优选地，在上述滤芯的清理装置中，所述筒体的底部设置有排污口。 

优选地，在上述滤芯的清理装置中，所述吹扫筒体的底部设置有与所述滤芯支架相连的用于带动所述滤芯支架旋转的驱动设备。