[实用新型]一种硅片切割气液联动自复位夹紧装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及硅片切割技术，具体涉及一种硅片切割气液联动自复位夹紧装置。

背景技术

硅片切割工艺始于由单晶硅或多晶硅材料制成的实心硅锭，线锯将硅锭裁成方块，然后再切割成很薄的硅片。在此过程中，硅锭的夹紧固定是一个关键技术，只有被切硅块被稳定、正确的夹紧固定，才能进行下一步切割，如固定不稳，容易造成硅块在切割过程中摇摆不定，导致切出来的硅片不平整，甚至导致整个切割过程失败。

目前，国内使用的NTC多线切割机粘接板夹紧采用的是侧向V型面加压推顶来实现对粘接板的夹紧。这种夹紧装置对液压油的保持压力有较高要求，连续切割过程中不允许有压力失稳现象出项，一旦压力下降或失去压力就会造成粘接板的夹紧不可靠或失效，给切割造成重大损失。

因此有必要对现有技术进行改进。

发明内容

有鉴于此，本实用新型提出一种硅片切割气液联动自复位夹紧装置，该装置对粘接板的夹紧不需要外部油压的长期作用就能可靠的将粘接板夹紧，而且通过操作按钮就能方便的把夹紧的粘接板松开移出。

本实用新型采用的技术方案是：

一种硅片切割气液联动自复位夹紧装置，包括夹持箱及其盖板、夹紧缸及其底板、拉杆、粘接板及限位板，所述夹持箱底部设有V形槽，所述限位板安装在所述夹持箱底部，限位板与所述夹持箱底部的V形槽形成一个燕尾槽，所述粘接板的上端为带T形槽的燕尾形滑块，所述滑块部位安装于由限位板和夹持缸箱体V形面围成的燕尾槽内，其特征在于：所述夹紧缸通过螺纹固定在所述夹紧箱底部，所述夹紧缸内设有与夹紧缸内壁滑动配合的活塞，所述活塞底端开槽，槽内设有弹簧，所述弹簧连接所述活塞和夹紧缸底板；所述活塞外壁与夹紧缸内壁上均设有密封圈槽，槽内装配有密封圈，所述密封圈与活塞外壁、夹紧缸内壁形成液压腔体，该腔体连接液体通道；所述拉杆顶端固定在所述活塞上，底端呈T字形，与所述粘接板上的T形槽扣合，拉杆随活塞上下运动。

所述液体通道包括导液管、导液板及导液块，所述导液管一端连接所述密封圈与活塞外壁、夹紧缸内壁形成液压腔体，另一端连接所述导液板；所述导液板为带内部管路的扁平状板，安装在所述夹持箱内表面，用于分配液体，所述导油管连接导液板的内部管路；所述导液块连接液泵与所述导液板，导液板内部管路汇集到所述导液块。

所述拉杆顶端穿过所述活塞顶部，通过螺纹连接装配在活塞上，并用螺母固定。

所述弹簧为矩形截面压缩弹簧。

本实用新型的优点在于：本实用新型采用了弹簧复位夹紧结构，夹紧力稳定，一次加压之后即可持续工作，操控方便、快捷。

附图说明

图1是本实用新型所述加紧装置结构示意图；

图2是本实用新型所述液体通道结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图来进一步阐述本实用新型。

如图1所示，一种硅片切割气液联动自复位夹紧装置，包括夹持箱5及其盖板3、夹紧缸4及其底板9、拉杆8、粘接板6及限位板7，所述夹持箱5底部设有V形槽，所述限位板7安装在所述夹持箱5底部，限位板7与夹持箱5底部的V形槽构成一个燕尾槽，所述粘接板6的上端为带T形槽的燕尾形滑块，所述滑块部位安装于所述燕尾槽内，其特征在于：所述夹紧缸4通过螺纹固定在所述夹紧箱5底部，所述夹紧缸4内设有与夹紧缸4内壁滑动配合的活塞13，所述活塞13底端开槽，槽内设有弹簧10，所述弹簧10连接所述活塞13和夹紧缸4底板；所述活塞13外壁与夹紧缸4内壁上均设有密封圈槽，活塞13外壁密封圈槽内装配有密封圈11，夹紧缸4内壁密封圈槽内装配有密封圈12，所述密封圈11、12与活塞13外壁、夹紧缸4内壁形成液压腔体，该腔体连接液体通道；所述拉杆8顶端固定在所述活塞13上，拉杆8底端呈T字形，与所述粘接板6上的T形槽扣合，拉杆8随活塞13上下运动。

如图1、图2所示，所述液体通道包括导液管2、导液板1及导液块15，所述导液管2一端连接所述密封圈11、12与活塞13外壁、夹紧缸4内壁形成液压腔体，另一端连接所述导液板1；所述导液板1为带内部管路的扁平状板，安装在所述夹持箱5内表面，用于分配液体，所述导油管2连接导液板1的内部管路；所述导液块15连接液压泵与所述导液板1，导液板1内部管路汇集到所述导液块15内。

如图1所示，所述拉杆8顶端穿过所述活塞13顶部，通过螺纹连接装配在活塞13上，并用螺母14固定。

所述弹簧10为矩形截面压缩弹簧。

以油作为本实用新型的液压液体来说明本实用新型的工作原理，其工作原理如下：油路加压，压力油通过油路进入夹持缸体4内推动活塞13向下移动并将力作用在矩形截面压缩弹簧10上，同时，拉杆8随着活塞13一起向下移动，拉杆8头部与夹持缸箱体5的V型面距离增加，将粘接板6两侧的定位面向限位板7推进，将拉杆8的T形头嵌入粘接板6的T型槽内，上述步骤到位后，将油路泄压，活塞13和拉杆8在矩形截面压缩弹簧10的预紧力作用下回位，拉杆8的T形头通过粘接板6的T形槽将粘接板6的燕尾形滑块拉紧与夹持缸箱体5的V型槽贴紧，即工件加紧成功，可进行下一部切割。粘接板6上的工件加工完成后，给油路加压，活塞13向下移动，拉杆8的T形头松开夹紧，粘接板6取出。