[实用新型]一种板式PECVD设备上下料系统的碳板输送装卸台

说明书

技术领域

本实用新型涉及太阳能硅片PECVD加工设备领域，具体为一种板式PECVD设备上下料系统的碳板输送装卸台。

背景技术

板式PECVD设备的进料口与出料口分别位于设备的两端，以往分别需要在进料口侧与出料口侧设置相应的硅片上料机构和硅片下料机构，其设备占用空间大、设备成本高，且硅片的上下料效率低，为此目前的自动上下料系统为了能达到缩小设备占用空间、降低设备成本、并提高硅片上下料效率将整个硅片上料机构与下料机构集成设置于PECVD设备的进料口侧，这就需要提供一个输送承载平台，其既能实现出片碳板的水平输送，又能提供对出片碳板的可靠夹紧定位、以及对碳板上硅片的承载，保证上下料系统的搬运机构能够可靠、快速搬运硅片，提高硅片上、下料的效率。

发明内容

针对上述问题，本实用新型提供了一种板式PECVD设备上下料系统的碳板输送装卸台，其能起到有效的碳板承载输送作用，并为硅片的转送搬运提供可靠的碳板夹紧定位、硅片的可靠支承作用，提高硅片自动上下料的效率。

其技术方案是这样的，其特征在于：其整体安装于板式PECVD设备的进料口侧以及碳板升降台之间，其包括支架、水平输送机构、压紧定位机构、顶升机构和定位机构，所述支架的安装方向与PECVD硅片进料方向垂直，所述水平输送机构安装于所述支架，所述压紧定位机构和定位机构分别安装于所述水平输送机构的纵向两端，所述顶升机构通过固定板安装于所述支架。

其进一步特征在于：所述水平输送机构包括电机、传动轴、主动输送轮和从动输送轮，所述电机通过电机支架固定于输送机机架下部，所述传动轴的纵向两端通过轴承座一固定于所述输送机机架的横向支架，所述电机与所述传动轴通过同步带轮传动连接，所述传动轴的纵向两端均通过所述轴承座一安装有一个所述主动输送轮，所述两侧横向支架上均分别通过轴承座二安装有两个所述主动输送轮与两个从动输送轮，所述主动输送轮与从动输送轮均匀、间隔分布安装于所述横向支架，单侧所述横向支架上、相邻两个所述主动输送轮之间通过传送带传动连接；

所述压紧定位机构设置有两个，分别通过安装板一安装于所述输送机机架进料侧的纵向支架两端；所述安装板一下部固定有横向气动滑台一，所述横向气动滑台一通过连接板一连接竖向气动滑台一，所述竖向气动滑台一的上端固定有压紧座，所述压紧座通过导杆一连接压紧块，所述导杆一外部套装有弹簧，所述竖向气动滑台一通过纵向连接板安装有调节板一，所述调节板一的横向前端安装有定位轮一；

所述顶升机构包括顶升板，所述顶升板上部安装有载片柱，所述顶升板下部通过连接板二固定于竖向气动滑台二，所述竖向气动滑台二固定于所述固定板，所述固定板固定于所述支架，所述竖向气动滑台二侧面安装有直线轴承导轨，所述直线轴承导轨上安装有导杆二，所述导杆二上端顶紧所述连接板二下部；

所述定位机构包括设置有两个，分别通过安装板二固定于所述输送机机架出料侧的纵向支架两端；所述安装板二下部固定有横向气动滑台二，所述横向气动滑台二通过连接板三与竖向气动滑台三连接，所述竖向气动滑台三上端通过连接块与调节板二，所述调节板二的前端固定有定位轮二。

使用本实用新型的碳板输送装卸台，其有益效果在于：其提供了一个可靠的承载输送平台，保证碳板以及放置于碳板上的硅片的输送以及硅片的可靠搬运，其中水平输送机构可以保证碳板的水平运输，压紧定位机构与定位机构能够将碳板压紧定位，而顶升机构将放置于碳板上的硅片向上可靠顶起方便上下料系统的硅片搬运机构进行硅片的搬运。

附图说明

　　图1为本实用新型碳板输送装卸台安装位置示意图；

图2为本实用新型碳板输送装卸台结构示意图；

图3为本实用新型碳板输送装卸台中的水平输送机构的结构示意图；

图4为本实用新型碳板输送装卸台的压紧定位装置结构示意图；

图5为本实用新型碳板输送装卸台的顶升机构的结构示意图；

图6为本实用新型碳板输送装卸台的定位机构的结构示意图。

具体实施方式