[实用新型]直拉单晶炉有效

专利信息
申请号: 201120573224.3 申请日: 2011-12-31
公开(公告)号: CN202401160U 公开(公告)日: 2012-08-29
发明(设计)人: 钟平 申请(专利权)人: 宁波科论太阳能有限公司
主分类号: C30B15/00 分类号: C30B15/00
代理公司: 杭州金源通汇专利事务所(普通合伙) 33236 代理人: 唐迅
地址: 315111 浙江省宁波市鄞州*** 国省代码: 浙江;33
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摘要:
搜索关键词: 直拉单晶炉
【权利要求书】:

1.一种直拉单晶炉,包括晶体提升电机(2)、坩埚转动电机(3)、炉壳(1)、石英坩埚(4)、石墨坩埚(5)和加热器(6),晶体提升电机(2)设置在炉壳(1)上端,坩埚转动电机(3)设置在炉壳(1)底端,坩埚转动电机(3)位于炉壳(1)内的顶端上设有坩埚托盘(31),石英坩埚(4)、石墨坩埚(5)和加热器(6)三者从内到外依次套接结构置于炉壳(1)内,加热器(6)固定在炉壳(1)底端上,石墨坩埚(5)固定在坩埚托板(31)上,其特征是在石英坩埚(4)与石墨坩埚(5)之间垫有石墨纸(45)。

2.根据权利要求1所述的直拉单晶炉,其特征是在炉壳(1)内壁紧贴有保温层(7)。

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