[实用新型]直拉单晶炉有效
申请号: | 201120573224.3 | 申请日: | 2011-12-31 |
公开(公告)号: | CN202401160U | 公开(公告)日: | 2012-08-29 |
发明(设计)人: | 钟平 | 申请(专利权)人: | 宁波科论太阳能有限公司 |
主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00 |
代理公司: | 杭州金源通汇专利事务所(普通合伙) 33236 | 代理人: | 唐迅 |
地址: | 315111 浙江省宁波市鄞州*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 直拉单晶炉 | ||
1.一种直拉单晶炉,包括晶体提升电机(2)、坩埚转动电机(3)、炉壳(1)、石英坩埚(4)、石墨坩埚(5)和加热器(6),晶体提升电机(2)设置在炉壳(1)上端,坩埚转动电机(3)设置在炉壳(1)底端,坩埚转动电机(3)位于炉壳(1)内的顶端上设有坩埚托盘(31),石英坩埚(4)、石墨坩埚(5)和加热器(6)三者从内到外依次套接结构置于炉壳(1)内,加热器(6)固定在炉壳(1)底端上,石墨坩埚(5)固定在坩埚托板(31)上,其特征是在石英坩埚(4)与石墨坩埚(5)之间垫有石墨纸(45)。
2.根据权利要求1所述的直拉单晶炉,其特征是在炉壳(1)内壁紧贴有保温层(7)。
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