[实用新型]超声硅片清洗机有效
| 申请号： | 201120573330.1 | 申请日： | 2011-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN202427679U | 公开（公告）日： | 2012-09-12 |
| 发明（设计）人： | 钟平 | 申请（专利权）人： | 宁波科论太阳能有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/12 | 分类号： | B08B3/12 |
| 代理公司： | 杭州金源通汇专利事务所(普通合伙) 33236 | 代理人： | 唐迅 |
| 地址： | 315111 浙江省宁波市鄞州*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 超声 硅片 清洗 | ||
【权利要求书】：
1.一种超声硅片清洗机，它包括超声槽(1)，其特征是在超声槽(1)的一侧设有排水阀门(2)，超声槽(1)的槽口处搭接有用于放置硅片的支架(3)，超声槽(1)的底部设有超声波振子(4)；超声槽(1)上还设有循环水管路(5)，循环水管路(5)上通过过滤装置(51)和抽水泵(52)连有喷头(6)。
2.根据权利要求1所述的超声硅片清洗机，其特征是在支架(3)上通过连杆(31)连有收集网(7)。
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