[实用新型]一种类单晶硅铸锭炉及其所用籽晶

权利要求书

1.一种类单晶硅铸锭炉，其特征在于，包括：

坩埚、位于所述坩埚底部下方的托板和位于所述托板下方的底板；

其中，所述坩埚为漏斗式坩埚，该坩埚具有至少4个矩形侧壁，其底部由与侧壁数量相同的梯形斜面及1个多边形底面构成，该多边形底面的边数与侧壁数量相同，且所述坩埚底部的梯形斜面与对应的矩形侧壁的夹角大于90°；

所述托板上表面的形状与所述坩埚底部的形状相匹配，所述托板上表面中心区域的多边形表面与所述坩埚的多边形底面相接触，且所述托板上表面的梯形斜面与所述坩埚底部对应矩形侧壁的夹角大于该侧壁与该侧壁对应的坩埚底部的梯形斜面的夹角；

所述底板上表面的形状与所述托板下表面的形状相匹配且相互接触。

2.根据权利要求1所述的铸锭炉，其特征在于，所述坩埚为方形漏斗式坩埚，所述方形漏斗式坩埚具有4个矩形侧壁，其底部是由4个相同梯形斜面及1个矩形底面构成。

3.根据权利要求2所述的铸锭炉，其特征在于，所述托板上表面的梯形斜面与所述坩埚的对应矩形侧壁的夹角大于所述侧壁与该侧壁对应的坩埚底部的梯形斜面的夹角为：所述石英坩埚底部的每个梯形斜面与所述托板对应梯形斜面之间存在有一个楔形缝隙，所述楔形缝隙最大缝隙间距不超过3mm。

4.根据权利要求3所述的铸锭炉，其特征在于，所述坩埚底部的梯形斜面与对应矩形侧壁的夹角不超过150°。

5.根据权利要求2所述的铸锭炉，其特征在于，所述托板下表面形状与上表面形状相匹配，包括：1个中心矩形底面和4个矩形斜面，其底部下表面的梯形斜面与对应坩埚侧壁的夹角大于与该梯形斜面对应的托板上表面的梯形斜面与所述对应坩埚侧壁的夹角。

6.根据权利要求2所述的铸锭炉，其特征在于，所述托板下表面形状为矩形平面。

7.根据权利要求2所述的铸锭炉，其特征在于，所述托板是由石墨材料经过高温压制所制备的具有设定结构的石墨托板。

8.根据权利要求2所述的铸锭炉，其特征在于，所述底板是由石墨材料经过高温压制所制备的具有设定结构的石墨底板。

9.一种用于上述类单晶硅铸锭炉的籽晶，其特征在于，所述籽晶的形状为正多棱棱台；

所述棱台的形状与权利要求1中所述的铸锭炉中的坩埚底部形状相匹配，具体为：具有与所述坩埚底部的梯形斜面数量相同的梯形侧面；具有与所述坩埚底部多边形底面全等的第一多边形底面；所述棱台的梯形侧面与所述第一底面之间的夹角等于所述坩埚底部的梯形斜面与所述坩埚底部的多边形底面之间的夹角。

10.根据权利要求9所述的籽晶，其特征在于，所述籽晶的形状具体为正四棱台；

所述棱台的形状与权利要求2中所述的铸锭炉中的坩埚底部形状相匹配，具体为：具有与所述坩埚底部矩形底面全等的四边形底面；所述棱台的梯形侧面与所述四边形底面之间的夹角等于所述坩埚底部的梯形斜面与所述坩埚底部的矩形底面之间的夹角。