[实用新型]一种单晶炉

权利要求书

1.一种单晶炉，其特征在于，包括：

炉体；

坩埚杆，所述坩埚杆通过设置在所述炉体底部中央的开口贯穿所述炉体的底部，所述坩埚杆的下端与炉体底部下方的坩埚基座连接固定；

设置在所述炉体的底部与所述坩埚基座之间的波纹管，所述波纹管上端与所述炉体底部中央的开口连接，下端与所述坩埚基座连接；

设置在所述波纹管底部的防护托盘；

其中，所述坩埚杆在炉体底部下方的部分处于所述波纹管内；所述波纹管通过设置在防护托盘底面的通孔与所述坩埚基座连接固定；防护托盘的侧壁与波纹管管壁之间具有缝隙。

2.根据权利要求1所述的单晶炉，其特征在于，所述防护托盘为圆筒形托盘，包括圆筒形侧壁和圆环形底面。

3.根据权利要求2所述的单晶炉，其特征在于，所述防护托盘包括：

两个半圆筒形侧壁，所述两个半圆筒形侧壁构成所述防护托盘的圆筒形侧壁；

与所述半圆筒形侧壁连接的半圆环底部，两个半圆环底部构成所述防护托盘的圆环形底面；

其中所述半圆环底部与对应半圆筒形侧壁为一体成型结构；所述两个半圆环底部设置有固定螺孔。

4.根据权利要求3所述的单晶炉，其特征在于，所述圆筒形侧壁高度为160mm-170mm。

5.根据权利要求4所述的单晶炉，其特征在于，所述圆筒形侧壁与所述波纹管管壁的间距为30mm-50mm。

6.根据权利要求1～5任一项所述的单晶炉，其特征在于，所述防护托盘为不锈钢防护托盘。