[实用新型]连续直拉单晶炉有效
| 申请号： | 201120575286.8 | 申请日： | 2011-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN202401161U | 公开（公告）日： | 2012-08-29 |
| 发明（设计）人： | 钟平 | 申请（专利权）人： | 宁波科论太阳能有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00 |
| 代理公司： | 杭州金源通汇专利事务所(普通合伙) 33236 | 代理人： | 唐迅 |
| 地址： | 315111 浙江省宁波市鄞州*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 连续 直拉单晶炉 | ||
1.一种连续直拉单晶炉，包括副室(1)、热屏(7)和炉腔(16)，其中在炉腔(16)中设有热屏支撑板(6)、保温层(15)、加热器(13)、石英坩埚(10)、石墨坩埚(11)和排气口(12)，所述石英坩埚(10)中设有硅熔体(14)，在硅熔体(14)上方设有一两端开口的罩体(5)，罩体(5)上端与副室(1)连接，罩体(5)下端开口与硅熔体(14)液面保持一段距离，其特征是所述热屏(7)包括断热材(72)、热屏罩(71)和反射板(73)，热屏罩(71)覆盖于断热材(72)的外侧，断热材(72)的内侧设有反射板(73)，反射板(73)环绕硅晶棒(9)，反射板(73)与断热材(71)之间无缝隙，在热屏(7)上方两侧各设有一导流管(17)，所述导流管(17)形成倒圆台的结构，在石英坩埚(10)与石墨坩埚(11)之间设有石墨纸(18)。
2.根据权利要求1所述的连续直拉单晶炉，其特征是所述石墨纸(18)铺满石英坩埚(10)与石墨坩埚(11)之间的整个缝隙。
3.根据权利要求1或2所述的连续直拉单晶炉，其特征是所述热屏(7)呈倒圆台型，所述副室(1)上设有托台(3)，在罩体(5)上端边缘设有凸缘(4)，在凸缘(4)上设有吊环(2)，吊环(2)与托台(3)配合。
4.根据权利要求1或2所述的连续直拉单晶炉，其特征是所述排气口(12)设于炉腔(16)靠近底部的两侧，所述保温层(15)设于加热器(13)外。
5.根据权利要求3所述的连续直拉单晶炉，其特征是所述排气口(12)设于炉腔(16)靠近底部的两侧，所述保温层(15)设于加热器(13)外。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于宁波科论太阳能有限公司，未经宁波科论太阳能有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201120575286.8/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种氨纶纺丝的喷丝组件
- 下一篇：一种多功能连续热处理炉二次风管道系统
