[实用新型]多枪头电子枪有效
申请号: | 201120576253.5 | 申请日: | 2011-12-31 |
公开(公告)号: | CN202465854U | 公开(公告)日: | 2012-10-03 |
发明(设计)人: | 朱刚毅;朱刚劲;朱文廓 | 申请(专利权)人: | 肇庆市腾胜真空技术工程有限公司 |
主分类号: | C23C14/30 | 分类号: | C23C14/30 |
代理公司: | 广州市华学知识产权代理有限公司 44245 | 代理人: | 裘晖 |
地址: | 526060 广*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 多枪头 电子枪 | ||
1.多枪头电子枪,其特征在于,包括坩埚、坩埚挡板和多个电子枪头,坩埚挡板设于坩埚上方,多个电子枪头均匀分布于坩埚的圆周方向上,坩埚中心外接坩埚转动组件。
2.根据权利要求1所述的多枪头电子枪,其特征在于,所述电子枪头有4个,各电子枪头分别设于坩埚的圆周边缘上。
3.根据权利要求1所述的多枪头电子枪,其特征在于,所述坩埚转动组件包括电机和转动轴,转动轴一端与坩埚底部连接,转动轴另一端通过齿轮组与电机的输出端连接。
4.根据权利要求3所述的多枪头电子枪,其特征在于,所述转动轴与坩埚底部的相接处还设有转动密封座。
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