[实用新型]真空室用的真空插板阀

权利要求书

1.真空室用的真空插板阀，其特征在于，包括驱动元件、阀体和阀芯组件，阀体为中空的长方体箱式结构，阀体的左右两侧壁分别与位于其两侧的真空室固定连接，阀体的左右两侧壁上分别开有阀体通孔，阀体通孔与位于阀体两侧的真空室内的工件通孔相通，阀芯组件设于阀体的中部空间内，驱动元件末端穿过阀体顶部并与阀芯组件连接。

2.根据权利要求1所述真空室用的真空插板阀，其特征在于，阀芯组件包括对称设置的两个活动板，两个活动板之间设置活动铰并通过活动铰与驱动元件末端连接，两个活动板的底部分别设有导轮。

3.根据权利要求2所述真空室用的真空插板阀，其特征在于，所述阀芯组件中，驱动元件末端分别与呈上下设置的两个活动铰连接，位于上方的活动铰两侧分别与两个活动板的上部连接，位于下方的活动铰两侧分别与两个活动板的下部连接。

4.根据权利要求3所述真空室用的真空插板阀，其特征在于，所述驱动元件的个数为2个，2个驱动元件分别设于阀体通孔前后两端的阀体上方。

5.根据权利要求2所述真空室用的真空插板阀，其特征在于，所述两个活动板之间设有至少一个拉簧，各拉簧两端分别固定于两个活动板的侧壁上。

6.根据权利要求2所述真空室用的真空插板阀，其特征在于，所述各活动板与阀体的内侧壁相接触的侧面上分别开有设置密封圈用的密封槽。

7.根据权利要求1所述真空室用的真空插板阀，其特征在于，所述阀体的中部空间中，阀体内底面为光滑面。

8.根据权利要求1所述真空室用的真空插板阀，其特征在于，所述阀体上方设有上盖板，驱动元件末端穿过上盖板和阀体顶部后与阀芯组件连接。

9.根据权利要求8所述真空室用的真空插板阀，其特征在于，所述驱动元件与上盖板相接处设有密封件。

10.根据权利要求1所述真空室用的真空插板阀，其特征在于，所述阀体下方设有下盖板，下盖板与阀体底部固定连接；

所述驱动元件为气缸、电机或液压传动件。