[实用新型]真空系统用的真空插板阀

权利要求书

1.真空系统用的真空插板阀，其特征在于，包括驱动元件、阀体、阀芯和下清洁盖板，阀体为中空的长方体结构，阀体的左右两侧壁分别与位于其两侧的真空室固定连接，阀体的左右两侧壁上分别开有阀体通孔，阀体通孔与位于阀体两侧的真空室内的工件通孔相通，阀芯设于阀体内部，驱动元件末端穿过阀体顶部并与阀芯顶部固定连接，下清洁盖板设于阀体底部。

2.根据权利要求1所述真空系统用的真空插板阀，其特征在于，所述驱动元件与阀体顶部相接处设有密封件。

3.根据权利要求1所述真空系统用的真空插板阀，其特征在于，所述阀芯为四棱柱结构，阀芯的径向截面为第一梯形，阀芯位于第一梯形长底边的侧面为第一侧面，阀芯位于第一梯形短底边的侧面为第二侧面，阀芯位于第一梯形两侧腰上的两侧面分别为第三侧面和第四侧面，第一侧面向上并与驱动元件末端固定连接，第二侧面向下，第三侧面和第四侧面分别位于左右两侧；

阀体中部空间的径向截面为长方形和第二梯形组成的六边形，长方形位于上部，第二梯形位于下部，第二梯形各边尺寸与第一梯形各边尺寸相同；

阀芯下落至底部时，阀芯的第三侧面和第四侧面分别贴紧于阀体的内侧面；

阀体的底部开有阀底通孔，阀底通孔的宽度与第一梯形短底边的长度相等；

下清洁盖板设于阀底通孔下方。

4.根据权利要求3所述真空系统用的真空插板阀，其特征在于，所述阀芯的第三侧面和第四侧面上还分别开有设置密封圈用的密封槽。

5.根据权利要求1所述真空系统用的真空插板阀，其特征在于，所述阀芯为三棱柱结构，三棱柱的径向截面为倒三角形，阀芯顶面与驱动元件末端固定连接；

阀芯下落至底部时，阀芯的两侧面分别贴紧于阀体的内侧面；

阀体的底部开有阀底通孔，下清洁盖板设于阀底通孔下方。

6.根据权利要求1所述真空系统用的真空插板阀，其特征在于，所述阀芯的两侧面上还分别开有设置密封圈用的密封槽。

7.根据权利要求1所述真空系统用的真空插板阀，其特征在于，所述驱动元件为气缸、电机或液压传动件。