[发明专利]基于RF电压的等离子体处理系统控制

权利要求书

1.一种控制等离子体处理系统的方法，包括：

接收来自所述腔的至少一个部件的RF信号；

在数字域中处理所述RF信号以获得所述RF信号的每个基带频率和宽带频率的峰值电压信号；以及

由所述峰值电压信号推导晶片偏压信息，其中所述晶片偏压信息使用作为用于所述控制所述等离子体处理系统的反馈和控制信号中的一个。

2.如权利要求1所述的方法，其中所述控制所述等离子体处理系统包括保持期望的晶片偏压电势。

3.如权利要求2所述的方法，其中所述RF信号通过电容性传感器部件接收。

4.如权利要求2所述的方法，其中所述推导至少考虑等离子体处理参数数据。

5.如权利要求4所述的方法，其中所述等离子体处理参数数据包括腔压强、腔间隙、RF发送功率、RF频率、RF发生器阻抗匹配网络档位、腔化学性、腔拓扑结构、以及晶片电阻系数中的至少一个。

6.如权利要求5所述的方法，其中所述处理包括考虑独立输入RF信号数据。

7.如权利要求6所述的方法，其中所述处理包括使用所述独立输入RF信号数据来执行数字滤波器的应用于所述处理的调谐。

8.如权利要求6所述的方法，其中所述独立输入RF信号数据包括基带频率和所述RF信号的驱动信号相位中的至少一个。

9.如权利要求4所述的方法，其中所述处理包括利用反混叠滤波器滤波所述RF信号。

10.如权利要求9所述的方法，其中处理还包括在所述滤波之后在所述RF信号上执行模数转换。

11.如权利要求10所述的方法，其中所述反混叠滤波器的滤波器频率小于应用于所述模数转换的模数转换器的采样频率的一半。

12.一种具有至少一个腔和用于从由所述腔的至少一个部件获得的RF信号推导晶片偏压信息的装置的等离子体处理系统，包括：

用于滤波所述RF信号的反混叠滤波器；

用于在所述滤波之后在所述RF信号上执行模数转换的模数转换器；

用于在所述转换之后在数字域中处理所述RF信号以获得所述RF信号的每个基带频率和宽带频率的峰值电压信息的逻辑电路；以及

用于从所述峰值电压信息推导晶片偏压信息的逻辑电路，其中所述晶片偏压信息使用作为用于所述控制所述等离子体处理系统的反馈和控制信号中的一个。

13.如权利要求12所述的等离子体处理系统，还包括用于在所述滤波之前接收所述RF信号的电容性传感器部件。

14.如权利要求12所述的等离子体处理系统，其中用于推导的所述逻辑电路在计算所述晶片偏压信息中至少考虑等离子体处理参数数据。

15.如权利要求14所述的等离子体处理系统，其中所述等离子体处理参数数据包括腔压强、腔间隙、RF发送功率、RF频率、RF发生器阻抗匹配网络档位、腔化学性、腔拓扑结构、以及晶片电阻系数中的至少一个。

16.如权利要求15所述的等离子体处理系统，其中用于处理的所述逻辑电路在计算所述峰值电压信息和所述宽带频率中考虑独立输入RF信号数据。

17.如权利要求16所述的等离子体处理系统，其中用于处理的所述逻辑电路使用所述独立输入RF信号数据来执行数字滤波器应用于所述处理的调谐。

18.如权利要求15所述的等离子体处理系统，其中所述独立输入RF信号数据包括基带频率和所述RF信号的驱动信号相位中的至少一个。