[发明专利]致动器和驱动致动器的方法

权利要求书

1.一种驱动致动器的方法，其特征在于：

包括工序（a）和工序（b），所述工序（a）是准备所述致动器的工序，

所述致动器具有第一电极、由(Bi，Na，Ba)TiO₃构成的压电体层和第二电极，

所述压电体层夹在所述第一电极与所述第二电极之间，

＋X方向、＋Y方向、＋Z方向分别为[100]方向、[01－1方向]和[011]方向，

所述致动器的X方向的一端部被固定，

所述压电体层优先在＋Z方向取向，

在所述工序（b）中，在所述第一电极与所述第二电极之间施加电位差，使所述致动器的X方向的另一端部在Z方向位移。

2.如权利要求1所述的方法，其特征在于：

所述致动器还具有支承体，

所述第二电极夹在所述支承体与所述压电体层之间。

3.如权利要求1所述的方法，其特征在于：

在所述工序（b）中，施加到所述第一电极的电压低于施加到所述第二电极的电压，并且，

所述致动器的另一端部在－Z方向位移。

4.如权利要求1所述的方法，其特征在于：

在所述工序（b）中，施加到所述第一电极的电压高于施加到所述第二电极的电压，并且，

所述致动器的另一端部在＋Z方向位移。

5.如权利要求3所述的方法，其特征在于：

在所述工序（b）中，施加到所述第一电极的电压高于施加到所述第二电极的电压，并且，

所述致动器的另一端部在＋Z方向位移。

6.如权利要求1所述的方法，其特征在于：

在所述工序（b）中，将从＋X方向观察被施加电位差的所述致动器时，连接所述致动器的两端的线段的中央部与所述致动器的中央部之间的、沿Z方向的长度设为h_Z，

将未向所述致动器施加所述电位差时的所述另一端部的位置与被施加所述电位差时的所述另一端部的位置之间的、沿Z方向的长度设为d_Z，则

h_Z/d_Z的值在0.1以下。

7.如权利要求1所述的方法，其特征在于：

将所述致动器的沿Y方向的宽度设为L_Y，将所述致动器的沿X方向的长度设为L_X，则

L_Y/L_X的值为0.1以上2以下。

8.如权利要求6所述的方法，其特征在于：

将所述致动器的沿Y方向的宽度设为L_Y，将所述致动器的沿X方向的长度设为L_X，则

L_Y/L_X的值为0.1以上2以下。

9.一种致动器，其特征在于：

具有第一电极、由(Bi，Na，Ba)TiO₃构成的压电体层和第二电极，

所述压电体层夹在所述第一电极与所述第二电极之间，

＋X方向、＋Y方向、＋Z方向分别为[100]方向、[01－1方向]和[011]方向，

所述压电体层优先在＋Z方向取向。