[发明专利]彩色滤光片基板的曝光方法

权利要求书

1.一种彩色滤光片基板的曝光方法，上述彩色滤光片基板具有矩形状的显示区域、一对第一非显示区域以及一对第二非显示区域，在上述显示区域上设置多个着色像素及多个光间隔物，在上述第一非显示区域及第二非显示区域上设置多个伪光间隔物，上述显示区域具有在第一方向上延伸的一对边、以及在与上述第一方向正交的第二方向上延伸的一对边，上述第一非显示区域沿着上述第一方向上的各边，上述第二非显示区域沿着上述第二方向上的各边，该曝光方法具备以下工序：

一边在上述第一方向上搬运涂布有光阻剂的基板，一边间歇地进行多次曝光，在上述第一非显示区域形成构成第一伪光间隔物的第一层的工序；以及

一边在上述第二方向上搬运涂布有光阻剂的基板，一边间歇地进行多次曝光，在上述第二非显示区域形成构成第二伪光间隔物的第二层的工序；

形成上述第一层的工序、以及形成上述第二层的工序按任意顺序来进行，

上述第一层及上述第二层用与形成上述着色像素的材料不同的材料来形成。

2.一种彩色滤光片基板的曝光方法，上述彩色滤光片基板具有矩形状的显示区域、一对第一非显示区域以及一对第二非显示区域，在上述显示区域上设置多个着色像素及多个光间隔物，在上述第一非显示区域及第二非显示区域上设置多个伪光间隔物，上述显示区域具有在第一方向上延伸的一对边、以及在与上述第一方向正交的第二方向上延伸的一对边，上述第一非显示区域沿着上述第一方向上的各边，上述第二非显示区域沿着上述第二方向上的各边，该曝光方法具备以下工序：

一边在上述第一方向上搬运涂布有第一颜色的光阻剂的基板，一边间歇地进行多次曝光，在上述显示区域内形成第一颜色的着色像素，并在上述第一非显示区域内形成第一层的工序，上述第一层由与形成上述第一颜色的着色像素的材料相同的材料构成，并构成第一伪光间隔物；

一边在上述第二方向上搬运涂布有第二颜色的光阻剂的基板，一边间歇地进行多次曝光，在上述显示区域内形成第二颜色的着色像素，并在上述第二非显示区域内形成第二层的工序，上述第二层由与形成上述第二颜色的着色像素的材料相同的材料构成，并构成第二伪光间隔物；

一边在上述第一方向或上述第二方向上搬运涂布有第三颜色的光阻剂的基板，一边间歇地进行多次曝光，并在上述显示区域形成第三颜色的着色像素的工序；以及

对涂布有光阻剂的基板进行一次曝光，在上述第一非显示区域内的第一层上形成构成上述第一伪光间隔物的第三层，并在上述第二非显示区域内的第二层上形成构成上述第二伪光间隔物的第四层的工序；

形成上述第一颜色的着色像素及上述第一层的工序、形成上述第二颜色的着色像素及上述第二层的工序、以及形成上述第三颜色的着色像素的工序按任意顺序来进行，

上述第三层及第四层使用与形成上述着色像素的材料不同的材料来形成。

3.一种彩色滤光片基板，具有矩形状的显示区域、一对第一非显示区域、以及一对第二非显示区域，上述显示区域具有在第一方向上延伸的一对边、以及在与上述第一方向正交的第二方向上延伸的一对边，上述第一非显示区域沿着上述第一方向上的各边，上述第二非显示区域沿着上述第二方向上的各边，该彩色滤光片基板具备：

多个着色像素，该多个着色像素设置于上述显示区域内；

多个光间隔物，该多个光间隔物设置于上述显示区域内；

第一伪光间隔物，该第一伪光间隔物由第一层构成，上述第一层形成于上述第一非显示区域内，并由与形成上述着色像素的材料不同的材料形成；以及

第二伪光间隔物，该第二伪光间隔物由第二层构成，上述第二层形成于上述第二非显示区域内，并由与形成上述着色像素的材料不同的材料形成。

4.一种彩色滤光片基板，具有矩形状的显示区域、一对第一非显示区域、以及一对第二非显示区域，上述显示区域具有在第一方向上延伸的一对边、以及在与上述第一方向正交的第二方向上延伸的一对边，上述第一非显示区域沿着上述第一方向上的各边，上述第二非显示区域沿着上述第二方向上的各边，该彩色滤光片基板具备：

着色像素，该着色像素形成于上述显示区域内；

光间隔物，该光间隔物形成于上述显示区域内；

第一伪光间隔物，该第一伪光间隔物由第一层及第三层构成，上述第一层设置于上述第一非显示区域，并由与第一颜色的上述着色像素相同的材料形成，上述第三层层积于上述第一层上，并由与上述着色像素不同的材料形成；以及

第二伪光间隔物，该第二伪光间隔物由第二层及第四层构成，上述第二层设置于上述第二非显示区域，并由与第二颜色的上述着色像素相同的材料形成，上述第四层层积于上述第二层上，并由与上述着色像素不同的材料形成。