[发明专利]多通道射频发生器

说明书

相关申请的交叉引用

本申请向2010年4月15日提交的美国专利申请No.12/760,771要求优先权，该美国专利申请要求2010年4月2日提交的美国临时专利申请No.61/320,450的权益。上面专利申请的公开内容通过引用全部并入本申请。

技术领域

本公开涉及等离子体室，还涉及射频（RF）发生器。

背景技术

本申请中提供的背景描述是为了概括地展示本公开的背景。当前提到的发明人的工作（就在该背景部分中描述的内容来说）以及从别的方面说也许算不上提交时的现有技术的该描述的多个方面，既不明确地又不隐含地被承认是相对于本公开的现有技术。

射频（RF）发生器接收交流（AC）输入功率并产生RF输出。该RF输出可以施加给例如等离子体室的等离子体电极。然而在一些情况中，等离子体室可能包括多个等离子体电极。仅例如，在太阳能面板制造中使用的等离子体室内，可能需要一个以上的等离子体电极，因为在处理的表面积较大并且一个等离子体电极可能在性能维修中。示例性系统可以称为多阴极薄膜沉积系统或者多频薄膜蚀刻和沉积系统。

因此，在一些情况下可能使用一个以上相同的RF发生器。每个RF发生器产生RF输出并且将该RF输出施加给等离子体电极中的一个。为了产生相同的RF输出，RF发生器可以电连接在一起。

发明内容

多通道射频（RF）发生器模块包括N个功率放大器、M个驱动器、供电模块和控制模块。所述N个功率放大器分别产生N个RF输出。所述M个驱动器根据M个驱动器控制信号分别驱动所述N个功率放大器。所述供电模块接收交流（AC）输入功率并且根据L个线轨电压设定点将L个线轨电压分别施加给N个功率放大器。所述控制模块设置所述L个线轨电压设定点和所述M个驱动器控制信号。N是大于1的整数，L和M是大于0的整数，并且M和L小于或等于N。

在其它特征中，多通道射频（RF）发生器模块包括N个功率放大器、M个驱动器、供电模块、参数确定模块、反馈模块和控制模块。所述N个功率放大器分别产生N个RF输出。所述M个驱动器根据M个驱动控制信号分别驱动所述N个功率放大器。所述供电模块接收交流（AC）输入功率并且根据L个线轨电压设定点将L个线轨电压分别施加给所述N个功率放大器。所述参数确定模块分别确定所述N个RF输出的N个实际前向功率，并且分别确定所述N个RF输出的N个反射系数。所述反馈模块根据所述N个实际前向功率和所述N个反射系数确定所述多通道RF发生器模块的总前向功率。所述控制模块根据所述总前向功率控制所述L个线轨电压设定点。N是大于1的整数，L和M是大于0的整数，并且M和L小于或等于N。

在更多其它特征中，多通道射频（RF）发生器模块包括：至少两个功率放大器，所述至少两个功率放大器每个产生RF输出；至少一个驱动器，所述至少一个驱动器根据至少一个驱动器控制信号驱动所述功率放大器；供电模块，所述供电模块接收交流（AC）输入功率并且根据至少一个线轨电压设定点将至少一个线轨电压施加给所述功率放大器；以及控制模块，所述控制模块设置所述至少一个线轨电压设定点以及设置所述至少一个驱动器控制信号。

在其它特征中，多通道射频（RF）发生器包括：至少两个功率放大器模块，所述至少两个功率放大器模块每个用于产生RF输出；至少一个驱动器模块，所述至少一个驱动器模块用于根据至少一个驱动器信号驱动所述功率放大器模块；供电模块，所述供电模块用于接收交流（AC）输入功率以及用于根据至少一个线轨电压设定点将至少一个线轨电压施加给所述功率放大器模块；以及控制模块，所述控制模块用于设置所述至少一个线轨电压设定点以及用于设置所述至少一个驱动器信号。

在更多其它特征中，上面描述的系统是通过由一个或多个处理器运行的计算机程序实现的。所述计算机程序能驻留在有形的计算机可读介质上，例如但不限于存储器、非易失性数据存储和/或其它适合的有形存储介质。

本公开的适用性的其它方面将从下面提供的具体实施方式中变得显而易见。应当理解，具体实施方式和特定实施例旨在仅用于说明而不旨在限制本公开的范围。

附图说明

本公开将从具体实施方式和附图中更全面地得到理解，其中：

图1是根据本公开原理的示例性多通道射频（RF）等离子体室系统的功能框图；

图2是根据本公开原理的示例性单驱动单线轨双通道RF发生器系统的功能框图；

图3是根据本公开原理的示例性单驱动双线轨双通道RF发生器系统的功能框图；