[发明专利]用于压力检测的方法和装置

说明书

相关申请案的交叉参考

本申请案主张2010年1月15日申请的第61/295，613号美国临时申请案的权益，所述申请案的整个内容以引用的方式并入本文中。

技术领域

本发明大体上涉及压力检测，且更具体地说，涉及使用显示器的压力检测。

背景技术

例如微机电系统(MEMS)等机电系统(EMS)包含微机械元件、激活器和电子器件。为了方便起见，EMS装置在下文中称为MEMS装置。可使用沉积、蚀刻和/或蚀刻掉衬底和/或所沉积材料层的部分或添加层的其它微机械加工工艺来产生微机械元件，从而形成电装置和机电装置。一种类型的MEMS装置称作干涉式调制器。如本文中所使用，术语干涉式调制器或干涉式光调制器指代使用光学干涉的原理来选择性地吸收和/或反射光的装置。在某些实施例中，干涉式调制器可包括一对导电板，所述对导电板中的一者或两者可完全或部分为透明和/或反射性的，且能够在施加适当电信号后进行相对运动。在特定实施例中，一导电板可包括沉积在衬底上的固定层，且另一导电板可包括通过气隙而与所述固定层分离的金属膜。如本文中更详细地描述，一导电板相对于另一导电板的位置可改变入射在干涉式调制器上的光的光学干涉。此些装置具有广泛范围的应用，且在此项技术中利用和/或修改这些类型的装置的特性以使得其特征可用来改进现有产品和产生尚未开发出的新产品将为有利的。

发明内容

附图说明

图1是描绘干涉式调制器显示器的一个实施例的一部分的等距视图，其中第一干涉式调制器的可移动反射层处于松弛位置，且第二干涉式调制器的可移动反射层处于激活位置。

图2是说明并入有3×3干涉式调制器显示器的电子装置的一个实施例的系统框图。

图3是图1的干涉式调制器的一个示范性实施例的可移动镜位置对所施加电压的曲线图。

图4是可用以驱动干涉式调制器显示器的一组行和列电压的说明。

图5A和5B说明可用以将显示数据的帧写入到图2的3×3干涉式调制器显示器的行和列信号的一个示范性时序图。

图6A和6B是说明包括多个干涉式调制器的视觉显示装置的实施例的系统框图。

图7A是图1的装置的横截面。

图7B是干涉式调制器的替代实施例的横截面。

图7C是干涉式调制器的另一替代实施例的横截面。

图7D是干涉式调制器的又一替代实施例的横截面。

图7E是干涉式调制器的额外替代实施例的横截面。

图8是用于检测压力的示范性装置的等角视图。

图9是图8的示范性装置800的俯视图。

图10A和10B说明图8的示范性装置800的横截面。

图11是用于测量压力的另一示范性装置的俯视图。

图12A和12B说明图11中所示的用于测量压力的示范性装置的横截面。

图13说明用于测量压力的另一示范性装置的横截面。

图14是校准图8到12中所示的装置800的过程的流程图。

图15是利用图8到13中所示的装置800来检测压力变化的过程的流程图。

具体实施方式

以下详细描述针对某些特定实施例。然而，可以众多不同方式来应用本文中的教示。在此描述中，参看图式，其中相同部分始终用相同数字指定。可在经配置以显示图像(无论是运动图像(例如，视频)还是静止图像(例如，静态图像)且无论是文字图像还是图片图像)的任何装置中实施所述实施例。更确切地说，预期所述实施例可实施于例如(但不限于)以下各者的多种电子装置中或与所述电子装置相关联：移动电话、无线装置、个人数据助理(PDA)、手持式或便携式计算机、GPS接收器/导航器、相机、MP3播放器、摄像机(camcorder)、游戏控制台、腕表、钟表、计算器、电视监视器、平板显示器、计算机监视器、汽车显示器(例如，里程表显示器等)、驾驶舱控制器和/或显示器、摄影机视野显示器(例如，车辆中的后视摄影机的显示器)、电子照片、电子广告牌或电子标记、投影仪、建筑结构、封装和美学结构(例如，关于一件珠宝的图像显示)。结构上与本文中所描述的MEMS装置类似的MEMS装置还可用于例如电子开关装置等非显示器应用中。