[发明专利]探针装置

权利要求书

1.一种探针装置，其特征在于，包括：

载置形成有多个包括二极管的功率器件的被检查体且能够移动的载置台；

配置于所述载置台的上方的具有多个探针的探针卡；和

测定部，在至少在所述载置台的载置面形成的导体膜电极与在载置于该导体膜电极的所述被检查体的背面形成的导体层导通的状态下，使所述探针与所述被检查体电接触来测定所述功率器件的电特性，

在测定所述功率器件的电特性时，将所述载置台的所述导体膜电极与所述测定部电连接的导通部件介于所述探针卡的外周缘部与所述载置台的外周缘部之间。

2.如权利要求1所述的探针装置，其特征在于：

所述导通部件设置于所述探针卡，与所述载置台的所述导体膜电极电接触。

3.如权利要求1或2所述的探针装置，其特征在于：

所述导通部件具有弹性。

4.如权利要求1或2所述的探针装置，其特征在于：

所述探针和所述导通部件均与所述测定部进行开尔文连接。

5.如权利要求1或2所述的探针装置，其特征在于：

所述载置台的所述导体膜电极构成为测定电极。

6.如权利要求1或2所述的探针装置，其特征在于：

所述载置台具有温度调节机构。

7.一种探针装置，其特征在于，包括：

载置形成有多个包括二极管的功率器件的被检查体且能够移动的载置台；

配置于所述载置台的上方的具有多个探针的探针卡；和

测定部，在至少在所述载置台的载置面和周面形成的导体膜电极与在载置于该导体膜电极的所述被检查体的背面形成的导体层导通的状态下，使所述探针与所述被检查体电接触来测定所述功率器件的电特性，

所述探针装置设置有导通机构，在测定所述功率器件的电特性时，该导通机构将在所述载置台的所述周面形成的所述导体膜电极与所述测定部电连接。

8.如权利要求7所述的探针装置，其特征在于：

所述导通机构包括：基端部与在所述载置台的所述周面形成的所述导体膜电极连接的引线导体；与所述引线导体的前端部导通自如地形成的连接端子；介于所述探针卡与所述载置台之间的导体；和将所述连接端子与所述导体电连接或者解除所述连接端子与所述导体的连接的致动器。

9.如权利要求7所述的探针装置，其特征在于：

所述导通机构包括：引线导体，其基端部与在所述载置台的所述周面形成的所述导体膜电极连接，且沿着所述载置台的所述周面设置有多个；连接端子，其以与多个所述引线导体的各个引线导体的前端部导通自如的方式形成有多个；介于所述探针卡与所述载置台之间的环状导体；和致动器，其将多个所述连接端子与所述环状导体电连接，或者解除多个所述连接端子与所述环状导体的连接，所述制动器设置有多个。

10.如权利要求8或9所述的探针装置，其特征在于：

所述致动器构成为使所述连接端子摆动的摆动机构。

11.如权利要求8或9所述的探针装置，其特征在于：

所述致动器构成为使所述连接端子升降的升降机构。

12.如权利要求7所述的探针装置，其特征在于：

所述导通机构包括：圆筒状导体，其相对于在所述载置台的所述周面形成的所述导体膜电极以与所述导体膜电极导通自如的方式升降；连接端子，其在所述圆筒状导体沿着周向隔开规定间隔地设置有多个；介于所述圆筒状导体与所述探针卡之间的环状导体；和致动器，其使所述圆筒状导体相对于所述环状导体升降而分别将多个所述连接端子与所述环状导体电连接，或者解除多个所述连接端子与所述环状导体的连接。

13.如权利要求7所述的探针装置，其特征在于：

所述导通机构包括：与在所述载置台的所述周面形成的所述导体膜电极电连接、且设置于沿着所述载置台的周向相互隔开180°的位置的一对触头；和以与所述一对触头电接触的方式介于所述载置台与所述探针卡之间的一对分割导体。

14.如权利要求13所述的探针装置，其特征在于：

所述触头能够根据施加电压进行调整。