[发明专利]氟气生成装置

权利要求书

1.一种氟气生成装置，其特征在于，其通过将熔融盐中的氟化氢电解，从而生成氟气，该装置具备：

电解槽，其在熔融盐液面上隔离、划分为第1气室和第2气室，在浸渍于熔融盐中的阳极处生成的以氟气为主成分的主产气体被导入所述第1气室，在浸渍于熔融盐中的阴极处生成的以氢气为主成分的副产气体被导入所述第2气室；和

精制装置，其使用冷却介质使从所述电解槽的熔融盐中气化而混入到由所述阳极处生成的主产气体中的氟化氢气体凝固并捕集，从而精制氟气；和

氟化氢供给通路，其用于将氟化氢供给源的氟化氢补充到所述电解槽中；和

夹带气体供给源，其将夹带气体供给到所述氟化氢供给通路，所述夹带气体用于将所述氟化氢供给源的氟化氢导入至所述电解槽中；和

夹带气体截止阀，其切换所述夹带气体供给源的夹带气体的供给与切断；和

紧急停止设备，其在所述氟气生成装置紧急停止时起动，

所述紧急停止设备具备：

替代气体供给设备，其代替随着所述氟气生成装置紧急停止所伴随的驱动源的丧失而所述夹带气体截止阀关闭所导致的被切断的夹带气体，能够将在所述精制装置中用于凝固氟化氢气体而使用的冷却介质作为替代气体供给；和

替代气体截止阀，其切换所述替代气体供给设备的替代气体向所述氟化氢供给通路中的供给和切断；和

紧急停止用计测气体供给设备，其具有计测气体截止阀，所述计测气体截止阀随着所述氟气生成装置紧急停止所伴随的驱动源的丧失而打开，从而可供给计测气体，

所述氟气生成装置紧急停止时，接受所述紧急停止用计测气体供给设备的计测气体的供给，所述替代气体截止阀打开，所述替代气体供给设备的替代气体供给到所述氟化氢供给通路。

2.根据权利要求1所述的氟气生成装置，其中，

所述精制装置具备：

气体流入部，其中流入含有氟化氢气体的主产气体；和

冷却装置，其使用冷却介质，以氟的沸点以上且氟化氢的熔点以下的温度冷却所述气体流入部，使得主产气体中混入的氟化氢气体凝固，另一方面，氟气通过所述气体流入部，

所述替代气体供给设备具备：

缓冲罐，其回收并保存从所述冷却装置排出的冷却介质，并可将冷却介质作为替代气体供给；和

冷却介质截止阀，其切换所述冷却装置的冷却介质向所述缓冲罐中的排出和切断，

所述氟气生成装置紧急停止时，接受所述紧急停止用计测气体供给设备的计测气体的供给，所述冷却介质截止阀打开，所述冷却装置的冷却介质排出到所述缓冲罐中。

3.根据权利要求1所述的氟气生成装置，其中，

所述紧急停止用计测气体供给设备具备：

计测气体容器，其中填充有计测气体；和

放出通路，其设置在所述计测气体截止阀的下游并将计测气体放出到大气中；和

流量限制部，其设置在所述放出通路上并限制计测气体的放出流量。

4.根据权利要求2所述的氟气生成装置，其中，

在所述缓冲罐中保存的冷却介质作为夹带气体的替代气体使用，并且，还作为所述紧急停止用计测气体供给设备的计测气体使用。

5.根据权利要求1所述的氟气生成装置，其还具备与所述第1气室连接并用于将主产气体供给到外部装置的第1主通路，

所述紧急停止设备还具备：

除害用通路，其与所述第1主通路并列设置；和

排出通路，其将所述第1主通路与所述除害用通路连接；和

截止阀，其设置在所述排出通路上，并切换主产气体从所述第1主通路到所述除害用通路中的排出与切断；

所述氟气生成装置紧急停止时，接受所述紧急停止用计测气体供给设备的计测气体的供给，所述截止阀打开，所述第1主通路的主产气体排出到所述除害用通路中。