[发明专利]用于在化学和/或电化学处理系统中输送类板状基板的装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种用于在化学和/或电化学处理、尤其用于在导电层的无电沉积的系统中输送类板状基板的装置，其具有独立专利权利要求的特征。

背景技术

类板状基板的化学或电化学处理是通过处理设备完成的。基板穿过容纳有处理溶液的浴槽，由此涂层、尤其是金属涂层、尤其是铜就沉积在类箔片状或类板状基板的表面上。类板状基板例如是晶片、太阳能电池、挠性箔片、尤其是印刷电路(例如印刷电路板)以及导电箔片。通过多个相似的旋转的输送元件以水平方向输送类板状基板。输送元件可以是动力驱动的，并且同时以作为用于类板状基板的支承件和传送驱动件为特征。每个旋转的输送元件通过双侧铰接的旋转轮轴形成。轮轴具有接触和输送基板的圆柱形罩壳表面，或者轮轴包括用于被布置在其长度上的类板状基板的盘状圆柱形支承元件，由此基板的下侧靠在支承元件上，或者由此支承元件位于基板的上侧。一对轮轴需要被精确地布置成平直的而且平行的，使得接触基板的上侧和下侧的接触区域精确地为一个在另一个上方。这样可将类板状基板的偏斜和变形、以及轮轴的偏心运转减至最小。

旋转的输送元件以及接触浴槽溶液的所有部件必需是化学惰性的。它们必须抵抗化学物质的侵袭，并且不与浴槽中的溶液进行相互作用。尤其是必需避免来源于处理浴槽的金属沉积。因此，轮轴一般由塑料材料(例如，GfK(通过玻璃纤维增强的塑料)或CfK(通过碳纤维增强的塑料))或不锈钢或钛合金制成。盘状支承元件一般由合适的热塑材料制成。当小碎片溶解并且污染浴槽时，用于轮轴的GfK或CfK材料会产生问题。此外，使用未涂层的金属轮轴可导致在轮轴上明显且渐进的金属沉积。经涂层的轮轴常常具有由于公差高而涂层厚度不规则的问题。

发明内容

本发明的目的在于建立一种化学惰性的且具有高同轴度的机械弹性旋转的输送元件，其能够精确地引导和输送类板状基板而确保涂层和产品的高质量。

本发明的目的是通过独立权利要求的装置来获得的。在从属权利要求中描述了本发明的其它有利的实施例的其它特征。为了实现此目的，本发明提出了一种用于在基板的化学和/或电化学处理的系统中输送类板状基板的装置。该系统尤其用于导电层的无电沉积。本发明包括用于类板状基板的传送装置的旋转的输送元件，其是化学和/或电化学处理装置的一部分。传送优选地以限定的传送方向发生，由此许多相似的旋转的输送元件共同形成用于类板状基板的支承件，这些类板状基板被输送越过旋转的输送元件。根据本发明，旋转的输送元件或多个旋转的输送元件至少部分地由无机玻璃构成。

根据本发明的装置的一个优选实施例，输送元件具有至少一个轴承元件以及至少一个输送器件，所述轴承元件用于输送元件的旋转承载，所述输送器件显示出对被输送的类板状基底的至少一个二维或类线状的接触区域。输送器件以及轴承元件可至少部分地由无机玻璃形成。输送元件可示出轮轴或轴，所述轮轴或轴至少部分地包括无机玻璃并且/或者至少部分地由无机玻璃制成且至少部分地形成轴承元件。该轮轴或轴可至少部分地由玻璃棒或玻璃管形成。如果使用玻璃管，两个前端优选地被封闭。

此外，输送元件的输送部分可通过用于类板状基板的至少一个旋转对称的支承元件形成。输送元件可以例如示出用于基板的旋转对称的支承元件。另一个有用的变型可以具有输送部分，该输送部分包括采用轴或管形状的旋转对称的中间部分，其显示出在轴或管的前部处用于轴承元件的轴端或轴承元件的接收器件。轴的直径可分级，例如，中间部分可略微成锥形，由此直径相比于相邻轴端的侧向外缘或具有较小直径的轴承元件减小大约0.05 mm至1mm、尤其是0.1 mm至0.3mm。这确保了类板状基板仅在它们的外缘处被输送，同时基板的最大表面区域被布置在中间收缩区段或锥形区段的上方并且大部分被自由接触输送。这样的轴使得具有至少两个导电板的所谓整个电路板的自由接触输送成为可能，它们被用作用于导电板的基础材料。仅边缘区域通过输送元件进行接触，这些边缘区域稍后被去除。