[发明专利]具有MEMS技术的电动式扬声器结构有效
| 申请号： | 201180007585.4 | 申请日： | 2011-01-14 |
| 公开（公告）号： | CN102948170A | 公开（公告）日： | 2013-02-27 |
| 发明（设计）人： | 盖伊·勒玛匡德;瓦莱丽·勒玛匡德;以利亚·玛丽·勒弗夫尔;玛丽安·亚历山大·劳伦斯·瓦伊达斯克;约翰·穆兰;法比恩·让·弗朗索斯·帕瑞恩 | 申请（专利权）人： | 缅因大学 |
| 主分类号： | H04R7/18 | 分类号： | H04R7/18;H04R9/06;H04R31/00;H04R9/10 |
| 代理公司： | 北京派特恩知识产权代理事务所(普通合伙) 11270 | 代理人： | 张颖玲;武晨燕 |
| 地址： | 法国*** | 国省代码： | 法国;FR |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 具有 mems 技术 电动 扬声器 结构 | ||
1.一种具有MEMS技术的电动式扬声器结构，包括：定子-成形构件(2)、膜片-成形构件(3)、以及用于连接所有这些构件的弹性形变构件(4)，其特征在于：所述定子-成形构件(2)、膜片-成形构件(3)、以及连接构件(4)通过加工硅芯片由单一部件构成。
2.根据权利要求1所述的电动式扬声器结构，其特征在于：所述连接构件(4)包括连接臂(5、6、7、8)，所述连接臂(5、6、7、8)有规律地分布在所述定子-成型构件(2)与所述膜片-成形构件(3)之间。
3.根据前述权利要求中任一项所述的电动式扬声器结构，其特征在于：所述膜片-成形构件(3)的至少一个表面包括其加强构件(9、10)。
4.根据权利要求3所述的电动式扬声器结构，其特征在于：所述加强构件包括筋(10)。
5.根据权利要求4所述的电动式扬声器结构，其特征在于：所述加强构件包括径向筋(10)。
6.根据前述权利要求中任一项所述的电动式扬声器结构，其特征在于：所述膜片-成形构件(3)具有朝向其边缘方向增加的厚度。
7.根据前述权利要求中任一项所述的电动式扬声器结构，其特征在于：所述膜片-成形构件(3)的至少一个表面包括线圈-成形构件(11)。
8.根据权利要求7所述的电动式扬声器结构，其特征在于：所述线圈-成形构件(11)包括由所述连接构件(4)支撑的电连接部分(12)。
9.根据权利要求7或8所述的电动式扬声器结构，其特征在于：所述线圈-成形构件(11)由铜制成。
10.根据前述权利要求中任一项所述的电动式扬声器结构，其特征在于：所述定子-成形构件(2)的至少一个表面包括由硬质磁性材料制成的构件(13、14)。
11.根据权利要求10所述的电动式扬声器结构，其特征在于：所述由硬质磁性材料制成的构件采用布置在所述膜片-成形构件(3)周围的环(13、14)的形式。
12.根据权利要求10或11所述的电动式扬声器结构，其特征在于：所述由硬质磁性材料制成的构件为由钐钴合金或铁钕硼合金制成。
13.根据前述权利要求中任一项所述的电动式扬声器结构，其特征在于：所述膜片-成形构件的至少一个表面包括盲穿孔(16、17)。
14.根据权利要求7和权利要求8-13中任一项所述的电动式扬声器结构，其特征在于：所述线圈-成形构件(11)的质量等于或约等于所述膜片-成形构件(3)的质量。
15.根据前述权利要求中任一项所述的电动式扬声器结构，其特征在于：所述结构的不同构件加工于其中的所述硅芯片是基于SOI技术。
16.根据前述权利要求中任一项所述的电动式扬声器结构，其特征在于：所述芯片是由单晶硅制成。
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