[发明专利]补偿光学设备和摄像设备

权利要求书

1.一种补偿光学设备，包括：

分割单元，用于对来自测量对象的返回光束进行分割；

像差测量单元，用于利用来自所述分割单元的分割得到的光束对由所述测量对象所引起的像差进行测量；

像差补偿单元，用于基于所述像差测量单元测量得到的像差来进行像差补偿；

投射单元，用于将通过所述像差补偿单元的像差补偿所获得的光束投射至所述测量对象；

获取单元，用于基于利用从所述投射单元投射的光束所获得的来自所述测量对象的返回光束，获取表示所述测量对象的状态的值；以及

控制单元，用于基于所述获取单元所获取到的值来使所述分割单元从光路退避。

2.根据权利要求1所述的补偿光学设备，其特征在于，

表示所述测量对象的状态的值包括所述像差测量单元测量得到的像差量；以及

当所述像差量等于或大于预定像差量时，所述控制单元使所述分割单元从所述光路退避。

3.根据权利要求1所述的补偿光学设备，其特征在于，还包括改变单元，所述改变单元用于改变通过所述像差补偿单元的像差补偿所获得的光束的光束直径，

其中，表示所述测量对象的状态的值包括通过所述像差补偿单元的像差补偿所获得的光束的光束直径，以及

当所述改变单元改变后的光束直径小于预定直径时，所述控制单元使所述分割单元从所述光路退避。

4.根据权利要求3所述的补偿光学设备，其特征在于，当所述像差测量单元测量得到的像差量等于或大于预定像差量时，所述改变单元使通过所述像差补偿单元的像差补偿所获得的光束的光束直径减小。

5.根据权利要求1所述的补偿光学设备，其特征在于，

表示所述测量对象的状态的值包括所述像差测量单元测量得到的像差的波动量；以及

当所述波动量小于预定波动量时，所述控制单元使所述分割单元从所述光路退避。

6.一种摄像设备，用于对测量对象进行摄像，所述摄像设备包括：

根据权利要求1所述的补偿光学设备；以及

图像获取单元，用于在维持通过所述像差补偿单元所获得的补偿特性、并且使所述分割单元从所述光路退避的状态下，基于来自所述测量对象的返回光束来获取所述测量对象的图像。

7.一种摄像设备，用于对测量对象进行摄像，所述摄像设备包括：

根据权利要求1所述的补偿光学设备；以及

图像获取单元，用于在所述像差补偿单元进行像差补偿期间使所述分割单元插入到所述光路内的状态下，基于来自所述测量对象的返回光束的一部分来获取所述测量对象的图像。

8.一种摄像设备，用于对测量对象进行摄像，所述摄像设备包括：

根据权利要求1所述的补偿光学设备；以及

图像获取单元，用于基于来自所述测量对象的返回光束来获取所述测量对象的图像，

其中，表示所述测量对象的状态的值包括表示所述图像的质量的值，以及

当表示所述图像的质量的值小于预定值时，所述控制单元使所述分割单元从所述光路退避。

9.根据权利要求8所述的摄像设备，其特征在于，

当表示在使所述分割单元从所述光路退避的状态下所获得的图像的质量的值大于表示在使所述分割单元插入到所述光路内的状态下所获得的图像的质量的值时，所述控制单元使所述分割单元从所述光路退避。

10.根据权利要求8所述的摄像设备，其特征在于，

表示所述图像的质量的值包括分辨率和强度中的至少一个。