[发明专利]背面电极型太阳能电池的制造方法、背面电极型太阳能电池及背面电极型太阳能电池模块

权利要求书

1.一种背面电极型太阳能电池（1，16）的制造方法，其特征在于，包括：

在硅基板（4）的受光面涂布包括含有与所述硅基板（4）具有相同导电型的杂质的化合物、钛醇、以及乙醇的溶液后进行热处理，由此形成受光面扩散层（6）和防止反射膜（7，12）的工序；

通过热处理，在所述硅基板（4）的所述受光面上形成受光面钝化膜（8）的工序；

在所述硅基板（4）的与所述受光面相反一侧的背面形成n型用电极（2）和p型用电极（3）的工序。

2.如权利要求1所述的背面电极型太阳能电池（1，16）的制造方法，其特征在于，所述受光面钝化膜（8）为氧化硅膜。

3.如权利要求1或2所述的背面电极型太阳能电池（1，16）的制造方法，其特征在于，形成所述受光面钝化膜（8）的工序包括在所述硅基板（4）的背面形成背面钝化膜（9，15）的工序。

4.如权利要求1至3中任一项所述的背面电极型太阳能电池（1，16）的制造方法，其特征在于，所述受光面扩散层（6）的片电阻为30Ω/□以上、100Ω/□以下。

5.如权利要求1至4中任一项所述的背面电极型太阳能电池（1，16）的制造方法，其特征在于，所述受光面钝化膜（8）的厚度为30nm以上、200nm以下。

6.一种背面电极型太阳能电池（1，16），其特征在于，具有：设置于硅基板（4）的受光面的受光面扩散层（6）；

设置于所述受光面扩散层（6）上的受光面钝化膜（8）；

设置于所述受光面钝化膜（8）上的防止反射膜（7，12）；

设置于所述硅基板（4）的与所述受光面相反一侧的背面的n型用电极（2）和p型用电极（3）；

所述受光面扩散层（6）为与所述硅基板（4）相同的导电型，杂质浓度高于所述硅基板（4）；

所述防止反射膜（7，12）为含有与所述硅基板（4）具有相同导电型的杂质的二氧化钛膜。

7.一种背面电极型太阳能电池（1，16），其特征在于，具有：设置于硅基板（4）的受光面的受光面扩散层（6）；

设置于所述受光面扩散层（6）上的受光面钝化膜（8）；

设置于所述受光面钝化膜（8）上的一部分的防止反射膜（7，12）；

设置于所述硅基板（4）的与所述受光面相反一侧的背面的n型用电极（2）和p型用电极（3）；

所述受光面扩散层（6）为与所述硅基板（4）相同的导电型，杂质浓度高于所述硅基板（4）；

所述防止反射膜（7，12）为含有与所述硅基板（4）具有相同导电型的杂质的二氧化钛膜。

8.如权利要求6或7所述的背面电极型太阳能电池（1，16），其特征在于，所述防止反射膜（7，12）所含有的杂质为n型杂质；

所述n型杂质为氧化磷，含有量为所述防止反射膜（7，12）的15质量%以上、35质量%以下。

9.一种背面电极型太阳能电池模块（35），是配置有多个权利要求6至8中任一项所述的背面电极型太阳能电池（1，16）而形成的背面电极型太阳能电池模块（35）；

该背面电极型太阳能电池模块（35）的特征在于，在所述背面电极型太阳能电池（1，16）的所述受光面侧依次包括密封树脂（32）及透明基板（33）。

10.如权利要求9所述的背面电极型太阳能电池模块（35），其特征在于，所述密封树脂（32）含有从乙烯醋酸乙烯酯、硅树脂及聚烯烃树脂中所选择的至少一种树脂。