[发明专利]真空泵

说明书

技术领域

本发明涉及真空泵，特别涉及在为半导体制造或高能量物理学等提供的工业用真空装置中、能够在遍及从中真空到高真空及超高真空的压力范围中使用的真空泵。

背景技术

以往，这种真空泵为在具有吸气口和排气口的壳体内从该吸气口侧起依次配设有涡轮分子泵部和圆筒形螺纹槽泵部的构造。

此外，上述圆筒形螺纹槽泵部的转子或定子是铝合金制，真空泵的转速的高速化受圆筒形螺纹槽泵部的转子的强度限制。

所以，也已知有在上述真空泵的螺纹槽泵部的转子中使用将纤维强化塑料材料（Fiber Reinforced Plastics，通称作“FRP材料”）成形为圆筒形而成的圆筒转子、实现该圆筒转子的强度增加的构造。在圆筒转子上，通过旋转时的离心力或热膨胀率的差而作用有圆周方向的负荷。因此，在FRP中，通常以将纤维以圆周方向取向的层为最外侧而形成。作为纤维强化塑料材料，有使用芳香族聚酰胺纤维、硼纤维、碳纤维、玻璃纤维、聚乙烯纤维等的结构。

但是，在将纤维强化塑料材料（以下，称作FRP材料）成形为圆筒形而做成圆筒转子的情况下，由于将FRP材料成形为圆筒形后的表面较大地翘曲，所以需要在成形后进行精加工。但是，在该精加工中，由于在圆筒转子的表层附近蜿蜒的纤维被分断为碎段，所以当施加了较高的负荷（载荷）时，有可能该FRP材料的纤维部分地剥落、产生毛刺或翘曲而破损。

所以，以往作为其对策而提出了例如在专利文献1、专利文献2中已知那样的各种手段。

即，在专利文献1的真空泵中，为了使涡轮分子泵部与螺纹槽泵部的热膨胀的差或离心力带来的变形量的差缓和，经由FRP材料的支承板使上述涡轮分子泵部的转子与上述螺纹槽泵部的圆筒转子接合。

进而，在专利文献2的真空泵中，为了使涡轮分子泵部与螺纹槽泵部的热膨胀的差或离心力带来的变形量的差缓和，精心设计了FRP材料中的纤维的卷绕角及树脂含有量等的成形条件及形状。

专利文献1：特许第3098139号公报

专利文献2：特开2004－278512号公报。

发明内容

如上所述，作为以往的将FRP材料形成为圆筒形而成的圆筒转子的纤维发生毛刺或翘曲而破损的情况下的对策，在将上述涡轮分子泵部的转子与上述螺纹槽泵部的上述圆筒转子经由FRP材料的支承板接合的专利文献1所记载的构造中，有因零件件数及组装工时数增加而成本上升的问题。此外，难以精度良好地组装，也有为了防止与固定部的接触而需要将与固定部的空隙扩大的情况。结果，还有排气性能下降的问题。

进而，在上述专利文献2所记载的构造、即精心设计了FRP材料中的纤维的卷绕角及树脂含有量等的成形条件及形状的构造中，由于FRP材料的形状变得复杂，所以有生产率较差、成本上升的问题。

所以，为了即使是使用将纤维强化塑料材料成形为圆筒形的圆筒转子的情况也防止圆筒转子的表面部分地剥落而破损，产生了应解决的技术课题，本发明的目的是解决该课题。

本发明是为了达到上述目的而提出的，技术方案1所述的发明，提供一种真空泵，是由纤维强化复合材料形成为大致圆筒形的圆筒转子具有接合在其他材料性转子上的转子、并且形成有螺纹槽泵的真空泵，其特征在于，上述圆筒转子由包括将纤维以相对于圆周方向不到45度取向的环绕层的多层构造形成；至少在上述圆筒转子的接合部分中，为了使上述环绕层中的作为最外层的层的纤维不会被分断为碎段，对上述最外层的外周进行了保护对策。

根据该结构，在由纤维强化复合材料形成为大致圆筒形的圆筒转子具有接合在其他材料性转子上的转子、并且形成有螺纹槽泵的真空泵中，上述圆筒转子由包括将纤维以相对于圆周方向不到45度取向的环绕层的多层构造形成。即，将纤维以相对于圆筒转子的圆周方向不到45度的角度卷绕而形成环状的层。进而，在圆筒转子的接合部分中，为了使环绕层中的作为最外层的层的纤维不会被分断为碎段，对最外层的外周进行了保护对策。

技术方案2所述的发明提供技术方案1所述的真空泵，其特征在于，在上述圆筒转子的至少上述接合部分中，在上述环绕层的外侧设有树脂层，以降低上述圆筒转子的表面的凹凸。

根据该结构，在圆筒转子的接合部分中，在环绕层的外侧设有树脂层。由此，能够降低圆筒转子的表面的凹凸。另外，作为将树脂层形成为平滑面的形状的方法，可以进行向圆筒转子的表面的凹部喷射树脂材料而将该凹部内填埋的方法、将树脂材料用刷子涂敷到圆筒转子的表面上而将该凹部内用树脂填埋的方法、或者使用铸塑模或金属模确保形状及尺寸精度的方法等。